真空腔體水氣解吸附組件
- 公司名稱 科睿設(shè)備有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時間 2025/2/27 13:49:08
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光刻機,,鍍膜機,磁控濺射鍍膜儀,,電子束蒸發(fā)鍍膜儀,,開爾文探針系統(tǒng)(功函數(shù)測量),,氣溶膠設(shè)備,氣溶膠粒徑譜儀,,等離子增強氣相沉積系統(tǒng)(PECVD),,原子層沉積系統(tǒng)(ALD),快速退火爐,,氣溶膠發(fā)生器,,稀釋器,濾料測試系統(tǒng)
產(chǎn)地類別 | 進口 | 應用領(lǐng)域 | 電子,電氣,綜合 |
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真空腔體水氣解吸附組件
真空腔體水氣解吸附組件
Zcuve是近年來國際上較多使用的水蒸氣解吸技術(shù),。*的設(shè)計可從2.75“擴展到8”法蘭尺寸,,具有比例較高的紫外線功率因數(shù)和較大的法蘭尺寸。
Zcuve的設(shè)計目的是在真空室內(nèi)不可能有一個暴露的紫外線發(fā)射器的情況下,,從大型沉積室中解吸水,。標準現(xiàn)成的百葉窗可用于防止Zcuve在沉積過程中被涂層。
這一過程在O型環(huán)(氟橡膠)密封真空室(沒有任何其他烘烤方式)上效果好,,也適用于較小尺寸的樣品傳輸,。
技術(shù)參數(shù):
型號 | 法蘭口徑 |
Z275 | 2.75" / 40 CF |
Z450 | 4.5" / 63 CF |
Z600 | 6.0” / 100 CF |
Z800 | 8.0” / 160 CF |
An external assembly houses the UV emitter, which is situated just behind 高紫外線透射,超高真空窗,。發(fā)射器背面的一面鏡子進一步改善了185納米紫外線輻射通過窗戶進入真空室的傳輸,。Zcuve外殼用惰性氣體進行回填,以防止外殼內(nèi)產(chǎn)生臭氧,。最后,,發(fā)射極引線經(jīng)由mhv高壓連接器連接至控制裝置。
主要特點:
利用紫外輻射解吸水蒸氣的優(yōu)點是產(chǎn)生很少的熱量,。更少的熱量意味著更少的機械零件和樣品損壞,。另一個優(yōu)點是,uvc不需要直接的現(xiàn)場線路來解吸水蒸氣,。它不能進入角落和縫隙,,但它可以反射拋光表面(如室壁),每次“反彈”損失50%到70%,。
UVB-100
uvb-100使用uvc輻射無需加熱就可以釋放水蒸氣,。發(fā)射器伸入真空室。
ZCuVE
零間隙紫外發(fā)射器水蒸氣解吸系統(tǒng)(Zcuve)利用紫外輻射無熱解吸水蒸氣,。發(fā)射器位于真空室外面。
注:這些水蒸氣解吸產(chǎn)品設(shè)計用于高真空系統(tǒng),、大真空,、氣室和樣品傳輸。它們的設(shè)計并不是為了取代超高真空系統(tǒng)中的輻射烘烤方法,,而是與特高壓兼容,。