日韩av大片在线观看欧美成人不卡|午夜先锋看片|中国女人18毛片水多|免费xx高潮喷水|国产大片美女av|丰满老熟妇好大bbbbbbbbbbb|人妻上司四区|japanese人妻少妇乱中文|少妇做爰喷水高潮受不了|美女人妻被颜射的视频,亚洲国产精品久久艾草一,俄罗斯6一一11萝裸体自慰,午夜三级理论在线观看无码

官方微信|手機版

產品展廳

產品求購企業(yè)資訊會展

發(fā)布詢價單

化工儀器網>產品展廳>分析儀器>其它分析儀器>其它通用分析> 全自動 大尺寸 光刻機

全自動 大尺寸 光刻機

具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱 科睿設備有限公司
  • 品牌
  • 型號
  • 產地
  • 廠商性質 代理商
  • 更新時間 2025/2/27 11:01:18
  • 訪問次數(shù) 651

聯(lián)系方式:張垚查看聯(lián)系方式

聯(lián)系我們時請說明是化工儀器網上看到的信息,,謝謝!


科睿設備有限公司(Cross-Tech Equipment Co.,Ltd )為多家國外高科技儀器廠家在中國地區(qū)的代理,。科睿公司一貫秉承『誠信』,、『品質』,、『服務』、『創(chuàng)新』的企業(yè)文化,,為廣大中國用戶提供儀器,、設備,周到的技術,、服務和*的整體解決方案,。在科技日新月異、國力飛速發(fā)展的中國,,納米科學研究、薄膜材料(包括半導體)生長和表征,、表面材料物性分析,、生物藥物開發(fā)、有機高分子合成等等領域,,都需要與歐美發(fā)達國家*接軌的儀器設備平臺來實現(xiàn),。科睿設備有限公司有幸成長在這個火熱的年代,,我們愿意化為一座橋梁,,見證中國科技水平的提升,與中國科技共同飛速成長,。
      科睿設備有限公司(Cross-Tech Equipment Co.,Ltd)總部設在中國香港,,在中國上海設立了分公司,在國內多個城市設立了辦事處或維修站,,旨在為客戶提供*的產品和服務,。2010年,科睿設備有限公司在上海設立備品倉庫及維修中心,,同時提供在大陸的各項技術服務和后期的維修保障服務,,我們擁有專業(yè)的應用維修人員,,并且都曾到國外廠家進行了專門的培訓。上海配備了多種維修部件,,能使我們的服務更加快捷和方便,。我們承諾24小時電話響應,72小時內趕到現(xiàn)場維修,。以利于更好,、更快的為中國大陸服務!
      因為信任,所以理解.我們理解用戶的困難和需求,。我們已經為國內眾多科研院所和大學根據(jù)用戶的要求配制和提供了上百套系統(tǒng),,主要用戶包括:中科院物理所,中科院半導體所,,中科院大連化學物理研究所,,國家納米中心,上海納米中心,,北京大學,,清華大學,中國科技大學,,南京大學,,復旦大學,上海交通大學,,華東理工大學,,浙江大學,中山大學,,西安交通大學,,四川大學,中國工程物理研究院,,香港大學,,香港城市大學,香港中文大學,,香港科技大學等,。



光刻機,鍍膜機,,磁控濺射鍍膜儀,,電子束蒸發(fā)鍍膜儀,開爾文探針系統(tǒng)(功函數(shù)測量),,氣溶膠設備,,氣溶膠粒徑譜儀,等離子增強氣相沉積系統(tǒng)(PECVD),,原子層沉積系統(tǒng)(ALD),,快速退火爐,,氣溶膠發(fā)生器,稀釋器,,濾料測試系統(tǒng)

全自動 大尺寸 光刻機

MIDAS SYSTEM公司開發(fā)并生產用于半導體,、MEMS、LED及納米技術相關的實驗室和工業(yè)領域的光罩對準曝光機和甩膠機,,是韓國*家研發(fā)并商業(yè)化光罩對準曝光機的企業(yè),,始終致力于不斷完善、增強技術型企業(yè)的核心競爭力,。
全自動 大尺寸 光刻機
MIDAS SYSTEM公司具有專業(yè)化的設計團隊,,以客戶需要為己任,生產,、供應滿足國內外企業(yè),、科研院所不斷增長的應用需求,并且提供半導體工藝相關的設備需要,。

MDA-12SA型曝光機是一款MIDAS公司新開發(fā)的產品,,代表了下一代全區(qū)域光刻系統(tǒng)。這一新型半自動化對準曝光平臺具有更高的重復光刻精度以及更可靠的操作,,非常適合陶瓷及其他探針卡應用,,同時MDA-12SA型半動化光罩對準曝光機具有更高的生產能力和容易操控。

項目參數(shù)
光源能量紫外曝光光源光強2000~5000W,,輸出能量可控
光束范圍14.25″× 14.25″
均勻光束范圍13.25″× 13.25″
光束均勻性<3%~5%
365nm輸出光束強度5KW 25~60mW/cm2,,2 KW 15~30mW/cm2
400nm輸出光束強度5KW 50~100mW/cm2,2 KW30~50mW/cm2
可調節(jié)曝光時間0.1~999.9s
范圍觀察顯微鏡/CCD相機安裝(480~1000倍可變放大,1600倍可選)
電動觀察范圍移動顯微鏡x,、y,、z電動操作(手柄控制)
電動樣品臺樣品臺x、y,、z、Theta電動操作
卡盤移動大范圍,。靜態(tài)對準工具模塊進行x,、y、z,、Theta移動
卡盤水平楔形誤差補償(楔形位置自動感應,,壓力傳感器,警報)
基片尺寸直至14″× 14″
掩模板規(guī)格可替換的直至15″× 15″
真空卡盤移動x,、y:10mm,;Theta:4×
Z向移動距離10mm
接觸模式接近式、軟接觸式,、硬接觸式,、真空接觸式(真空接觸力可調節(jié))
接近調節(jié)1μm步進可調節(jié)程序化控制系統(tǒng)
對準精度1μm
顯示器17″觸屏
氣動控制基片,、掩膜、接觸,、接觸調節(jié),、卡盤鎖、N2,、N2調節(jié)
分辨率1μm(真空接觸下近紫外)
擺放防震桌
選件CCD BSA,、DUV、紫外強度計

 


■ Auto Exposure / Alignment System
■ 2~6 inch wafer process
■ Interface between Aligner and Robot : RS-232C
■ Auto Loading and Unloading Using Double Robot Arm
■ Auto-Alignment with Vision System
■ Pre-Alignment and Automatic Positioning
■ Anti-Vibration Table
■ Dual CCD Auto zoom Microscope ? Variable Magnification : Max. 1400x
■ 17inch LCD touch monitor
■ Wedge Error Compensation
■ Throughput :Alignment : 120WPH   PSS, First layer : 170WPH

  Item Specification
 Exposure System Lamp Power 350W UV Lamp(OSRAM)
 Resolution 0.8um (Vacuum contact)
 Beam Uniformity ≤ ± 5% (6inch standard)
 Intensity 20~25mW/cm2:350~450nm
 Adjustable Exposure Time 0.1 to 999.9 sec
 Alignment System Alignment  Accuracy 1um
 Alignment Gap 20 to 200um
 Pre-Alignment Accuracy ± 50um
 Process Mode Vacuum, Hard, Soft Contact and Proximity
 *Proximity Gap is 20um to 200um
 Proximity Adjustment adjustable 1 micron increments Program Control System
 Throughput>120 wafer/hour (Auto alignment)  170 wafer/hour (PSS, First layer)
 Sample Substrate 2 ~ 6 inch
 Mask Size 3 ~ 7 inch
 Utilities Vacuum > 650mmHg
 CDA > 6Kg/cm2
 N2 > 4Kg/cm2
 Electricity 220V, 30A, 1Phase
 Monitor Touch LCD 17" Monitor


化工儀器網

采購商登錄
記住賬號    找回密碼
沒有賬號,?免費注冊

提示

×

*您想獲取產品的資料:

以上可多選,勾選其他,,可自行輸入要求

個人信息:

溫馨提示

該企業(yè)已關閉在線交流功能