掃描電鏡原位AFM探測系統(tǒng)

AFSEM™ —使AFM和SEM合二為

奧地GETec公司發(fā)布的掃描電鏡原位AFM探測系統(tǒng)是款緊湊型，適用于真空環(huán)境的AFM產(chǎn)品,，能夠輕松地結(jié)合兩種強(qiáng)大的分析技術(shù)—AFM和SEM為體,，擴(kuò)展SEM樣品成像和分析能力。AFSEM技術(shù)與SEM技術(shù)的*結(jié)合,，使得人們對微觀和納米新探索新發(fā)現(xiàn)成為可能,。

SEM結(jié)合AFM*解決方案： * 掃描電子顯微鏡中進(jìn)行AFM原位分析 * 使用SCL的自感懸臂技術(shù)的納米探針 * 無需激光和探測器，適用于任何樣品表面 * 與大多數(shù)SEM兼容而不妨礙正常的操作 * AFM和SEM協(xié)同并行分析

掃描電子顯微鏡中進(jìn)行原位AFM分析

AFSEM技術(shù)實現(xiàn)了AFM和SEM的功能性互補(bǔ),，讓SEM可以同時實現(xiàn)樣品的高分辨率成像,，真實的三維形貌，高度,，距離測量,，甚至是材料的導(dǎo)電性能。做到這點只需要將AFSEM懸臂探針的位置移動到SEM下需要觀察的樣品位置進(jìn)行探測,?；腁FSEM工作流程(幾乎沒有減少SEM的掃描時間)確保了高的效率,。提供的強(qiáng)大控制軟件則允許進(jìn)行化和直觀的測量、系統(tǒng)處理和數(shù)據(jù)分析,。

將AFSEM集成到個Zeiss Leo 982掃描電子顯微鏡中(左),，對樣品表面進(jìn)行掃描成像(右)，對樣品表面進(jìn)行掃描,。當(dāng)在AFM和SEM成像之間交替時,，不需要轉(zhuǎn)移樣品或打破真空。使用AFSEM,，切都可以進(jìn)行內(nèi)聯(lián),！

SEM-AFM 協(xié)同分析

 對于產(chǎn)品或材料分析，通常需要用多種技術(shù)分析個樣品或者同個器件,，并尋找參數(shù)之間的相關(guān)性,。如果樣品需要使用SEM和AFM這兩種的成像技術(shù)，就意味著我們需要找到感興趣的區(qū)域并定位它,，再拿到另個設(shè)備中尋找這個感興趣的區(qū)域,，才能實現(xiàn)對同樣的區(qū)域進(jìn)行分析。有什么能比直接把AFM放在SEM里面來的簡單呢,？

對無支撐石墨烯和石墨烯相關(guān)材料進(jìn)行掃描電鏡和AFM原位分析。在低電壓掃描電子顯微鏡下,，我們可以對個懸空的石墨烯薄片的樣品進(jìn)行成像,，以確定層數(shù)和厚度(a)。然后,，用AFM(b+c)實現(xiàn)更高的分辨率和更好的對比度,。
掃描電鏡圖像(A)、放大的圖像(B)和相關(guān)的AFM成像(C),，測量結(jié)果來自FEI Quanta 600 FEG ESEM,。

AFSEM可與大多數(shù)SEM兼容

AFSEM適用于大多數(shù)SEM或雙光束(SEM/FIB)系統(tǒng)?？梢灾苯影惭b在系統(tǒng)腔室的倉門上,，同時樣品臺保持不變。此外,，AFSEM采用種自感應(yīng)懸臂探針,，無需激光與傳感器。 AFSEM在電鏡中,，夾持探針的懸臂梁只需要靴與樣品之間4.5毫米的空間,。因此，AFSEM可以與各種標(biāo)準(zhǔn)的SEM兼容,，GETec公司能夠處理任何兼容SEM系統(tǒng)真空腔內(nèi)的安裝,。也正是這種雅小巧的設(shè)計使得掃描電子顯微鏡能夠配合AFM技術(shù)實現(xiàn)的亞納米的形貌探測,。

成功的AFSEM集成的例子(可參見集成SEM列表)。

AFSEM與SEM分析技術(shù)緊密配合

 由于AFSEM小巧的設(shè)計維護(hù)了SEM功能的完整性,，可以實現(xiàn)與其他標(biāo)準(zhǔn)的掃描電鏡分析技術(shù)相結(jié)合同時使用,，如常規(guī)FIB、FEBID和EDX,，以及SEM中可搭配的拉伸機(jī),，應(yīng)力測試，機(jī)械手等等

AFSEM應(yīng)用案例舉例

AFSEM與Deben 200N 拉伸試驗臺可以同時集成在Philips XL40 SEM實現(xiàn)試樣拉伸形變過程的原位觀察和形貌探測,。這是個創(chuàng)新的實驗解決方案,，用來研究拉力作用下金屬試樣的拉伸形變和頸縮過程中，樣品表面形貌和粗糙度的變化,。

此外AFSEM™和Hysitron PI85 硬度測試臺結(jié)合,，同安裝在蔡司Leo 982 SEM中，電鏡下我們可以實時觀察金屬表面在硬度計壓頭*的壓力下,，表面形變,，滑移過程。其形變,，滑移的形貌變化可以由AFM完成,。

從AFM的角度來看，自感應(yīng)懸臂探針可以實現(xiàn)多種探測模式,，包括 靜態(tài)成像,、動態(tài)成像、相對比,、力譜,、力調(diào)制和導(dǎo)電模式AFM。例如,，在飛浦XL40儀器中,，用掃描電鏡成像,、EDX的化學(xué)分析,、AFM的3D形貌和電導(dǎo)分析,。

AFSEM采用的自感應(yīng)探針（self-sensing cantilevers）

奧地SCL-Sensor.Tech公司主要生產(chǎn)硅基壓阻式自感應(yīng)探針,，避免了常規(guī)AFM需要光路進(jìn)行探測的模式,，拓寬AFM在納米探測,、力測量和其他場合的應(yīng)用,。

自檢測懸臂配備全壓阻電橋直接測量懸臂信號電,，從而消除常規(guī)原子力顯微鏡光學(xué)信號探測對儀器空間的要求,。兩個可變電阻分別位于微懸臂和芯片上,。整個結(jié)構(gòu)連接到個小的PCB板上，可實現(xiàn)快速和高重復(fù)性的探針交換,。感應(yīng)到的信號通過個前置放大電路讀出和放大,。這使得與各種儀器,，如SEM，TEM和許多其他測量系統(tǒng),，可以輕松無縫地集成,。自感應(yīng)探針具有各種諧振頻率和彈簧常數(shù)。

我們可為您提供PRS（壓阻傳感）懸臂探針和PRSA（壓阻傳感與主動）懸臂探針,。