SE系列 橢偏儀
- 公司名稱 德國韋氏納米系統(tǒng)(香港)有限公司
- 品牌
- 型號 SE系列
- 產(chǎn)地 U.S.A
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2019/2/13 10:13:04
- 訪問次數(shù) 6078
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產(chǎn)地類別 | 進口 | 價格區(qū)間 | 面議 |
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橢偏儀是一種利用偏振態(tài)的變化 后光束探測樣品反應(yīng)技術(shù),。不像反射儀,橢偏儀參數(shù)(PSI和Del)是在非正常的入射角得到,。改變?nèi)肷浣?。可以得到更多的?shù)據(jù)集,,這將有助于精煉模型,,減少不確定性和提高用戶的數(shù)據(jù)信心。因此,,可變角度比固定角度的系統(tǒng)具有更強大的功能 ,。目前有兩種方法改變?nèi)肷浣?,手動或自動模式?/p>
Ansgtrom Sun公司設(shè)計角度調(diào)整模型,通過5度間隔后精確預(yù)置槽移動手臂手動調(diào)節(jié)角度和電動精密測角0.01度分辨率兩種模型,。此外,,測角垂直布局設(shè)計,樣品可以水平放置,,這是更安全的處理樣品時,。可靠的和足夠的原始數(shù)據(jù)集,,更多膜的性能參數(shù),,如薄膜或涂層 厚度,光學(xué)常數(shù)(折射率n,,消光系數(shù)k指數(shù)),、接口、孔隙度甚至成分可以通過建模,。在這個意義上,,*進的軟件是一個必須為高性能光譜(SE)工具。我們開發(fā)了TFprobe 3 x版軟件的系統(tǒng)設(shè)置,。仿真,測量,,分析,,數(shù)據(jù)管理和2D / 3D圖形演示的一體機。 此外,,SE200工具覆蓋了很寬的波長范圍內(nèi),,從深紫外線(DUV)在可見光到近紅外(250~1100nm),標(biāo)準(zhǔn)配置,。DUV范圍適合衡量超薄膜,,如納米厚度范圍。一個例子是在硅晶片上的原生氧化層,,這是典型的2nm厚的*,。深紫外光譜也是*的,用戶需要測量多種材料的帶隙,。
SE系列型號:
Spectroscopic Ellipsometer SE200BA-M300
Spectroscopic Ellipsometer SE200BA-MSP
Spectroscopic Ellipsometer SE200BM-M300
Spectroscopic Ellipsometer SE200BM-M450
Spectroscopic Ellipsometer SE200BM-Solar
Spectroscopic Ellipsometer SE300BM
Spectroscopic Ellipsometer SE500BA
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