KLA Filmetrics F30薄膜厚度測(cè)量?jī)x
參考價(jià) | ¥50000-¥999999/臺(tái) |
- 公司名稱 德國(guó)韋氏納米系統(tǒng)(香港)有限公司
- 品牌KLA-Tencor
- 型號(hào)
- 所在地香港特別行政區(qū)
- 廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間2025/3/10 7:53:14
- 訪問次數(shù) 14
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產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 價(jià)格區(qū)間 | 50萬-100萬 |
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應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子,航天,汽車,電氣,綜合 |
監(jiān)控薄膜沉積,,有力的工具
KLA Filmetrics F30薄膜厚度測(cè)量?jī)x光譜反射率系統(tǒng)能實(shí)時(shí)測(cè)量沉積率,、沉積層厚度、光學(xué)常數(shù) (n 和 k 值) 和半導(dǎo)體以及電介質(zhì)層的均勻性,。
樣品層
KLA Filmetrics F30薄膜厚度測(cè)量?jī)x分子束外延和金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積: 可以測(cè)量平滑和半透明的,,或輕度吸收的薄膜。 這實(shí)際上包括從氮化鎵鋁到鎵銦磷砷的任何半導(dǎo)體材料,。
各項(xiàng)優(yōu)點(diǎn):
極大地提高生產(chǎn)力
低成本 —幾個(gè)月就能收回成本
A精確 — 測(cè)量精度高于 ±1%
快速 — 幾秒鐘完成測(cè)量
非侵入式 — 在沉積室以外進(jìn)行測(cè)試
易于使用 — 直觀的 Windows™ 軟件
幾分鐘就能準(zhǔn)備好的系統(tǒng)
型號(hào)規(guī)格
型號(hào) | 厚度范圍 | 波長(zhǎng)范圍 |
F30 | 15nm-70μm | 380-1050nm |
F30-EXR | 15nm-250μm | 380-1700nm |
F30-NIR | 100nm-250μm | 950-1700nm |
F30-UV | 3nm-40μm | 190-1100nm |
F30-UVX | 3nm-250μm | 190-1700nm |
F30-XT | 0.2μm-450μm | 1440-1690nm |