場發(fā)射分熱場和冷場,，共性是分辨率高。熱場的束流大些,，適合進(jìn)行分析,，但維護(hù)成本相對(duì)較高，維護(hù)要求高,。冷場做表面形貌觀測(cè)是適合的,，相對(duì)而言維護(hù)成本低些，維護(hù)要求不算高,。冷場發(fā)射電子槍優(yōu)點(diǎn)：單色性好,，分辨率高缺點(diǎn)：電子槍束流不穩(wěn)定，束流小,，不適合做能譜分析,，每天要做一次Flash熱場發(fā)射電子槍優(yōu)點(diǎn)：電子束穩(wěn)定，束流大缺點(diǎn)：與冷場相比除了單色性和分辨率略差點(diǎn)外,，其它找不出缺點(diǎn),。熱場在總發(fā)射電流（Total emission current）、zui大探針電流（Maximum probe current）,、電子束噪聲（Beam noise）,、發(fā)射電流漂移（Emission current drift）,、工作真空（Operating vacuum）、陰極還原（Cathode regeneration）,、對(duì)外部影響的敏感性（Sensitivity to external influence）等方面都具有一等的優(yōu)勢(shì),。這些參數(shù)直接影響電鏡的性能。在陰極半徑（Cathode radius）,、有效電子源半徑（Effective source radius）,、發(fā)射電流密度（Emission current density）、標(biāo)準(zhǔn)亮度（Normalised brightness）等方面,，冷場發(fā)射略勝*,。這幾個(gè)參數(shù)總起來說就是冷場發(fā)射陰極的發(fā)射面積較小、能量集中,，便于將電子束聚焦于一個(gè)很小的點(diǎn),，以提高分辨率。但是在現(xiàn)代的電鏡技術(shù)條件下,，熱場發(fā)射電鏡通過采取各種有效措施,，也能夠?qū)㈦娮邮鴧R聚于一個(gè)理想的點(diǎn)，達(dá)到冷場發(fā)射電鏡的分辨率水平,。熱場發(fā)射電鏡主要的一個(gè)缺點(diǎn)是燈絲（陰極）壽命較短,，給定壽命2000小時(shí)，實(shí)際可用3年左右,。而冷場發(fā)射陰極壽命相對(duì)較長,，且更換費(fèi)用較低。