微透鏡加工技術(shù)與三維形貌測量分析
一,、微透鏡主流加工技術(shù)
1、光刻與刻蝕法
通過光刻工藝將透鏡圖案轉(zhuǎn)移至襯底材料,,憑借亞微米級加工精度,,適用于大規(guī)模微透鏡陣列的批量制造。
2,、模壓成型法
先加工高精度模具,,再通過注塑或熱壓成型工藝,實現(xiàn)微透鏡陣列的高效復制,,具備工藝穩(wěn)定性強的特點,。
3、雙光子聚合技術(shù)
利用飛秒激光在光敏材料中逐層固化,,直接構(gòu)建三維微透鏡結(jié)構(gòu),,可實現(xiàn)納米級精度的復雜形貌加工。
4,、熱回流法
通過光刻膠曝光顯影形成柱狀陣列結(jié)構(gòu),,加熱至材料玻璃態(tài)轉(zhuǎn)變溫度以上使其軟化,借助表面張力作用收縮成微透鏡陣列,。
二,、Sensofar 微透鏡三維形貌測量方案及優(yōu)勢
Sensofar 在微透鏡表面形貌測量領(lǐng)域展現(xiàn)出技術(shù)*先性,其核心方案基于共聚焦,、白光干涉與 AI 多焦面疊加技術(shù)的融合,,實現(xiàn)了對微透鏡三維形貌的高精度表征。具體優(yōu)勢包括:
1,、融合干涉技術(shù):結(jié)合傳統(tǒng)白光干涉與融合干涉成像技術(shù),,可獲取高分辨率的表面形貌圖像,有效提升測量精度與穩(wěn)定性,。
傳統(tǒng)白光干涉

融合干涉成像技術(shù)
2,、自動化分析能力:
SensoPRO 軟件:搭載可擴展的插件式數(shù)據(jù)分析算法,支持靈活的自動化分析流程,,為微透鏡加工質(zhì)量控制提供量化數(shù)據(jù)支撐(如曲率半徑,、表面粗糙度等參數(shù))。

SensoSCAN 軟件:集成自動化測量模塊,,通過標準化流程縮短測量周期,,實現(xiàn)快速、精準的數(shù)據(jù)采集,滿足工業(yè)級生產(chǎn)中的高效檢測需求,。

Sensofar 的技術(shù)組合兼顧了測量精度(納米級)與檢測效率,,可全面適配微透鏡行業(yè)對復雜結(jié)構(gòu)形貌的高精度表征需求,助力提升加工工藝的可控性與成品率,。
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