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快速退火爐的硬件更換周期

來源:上海麥科威半導(dǎo)體技術(shù)有限公司   2025年06月05日 10:09  
真空快速退火爐有低真空型號(10-3hPa),、高真空型號(10-6hPa),;可存儲50個程序,每個程序最多分為50段控制,;全自動智能控制,,包括溫度、時間,、氣體流量,、真空度、循環(huán)水均可自動設(shè)置,。
應(yīng)用領(lǐng)域:
離子注入/接觸退火,;
快速熱處理(RTP),快速退火(RTA),,快速熱氧化(RTO),,快速熱氮化(RTN);
可在真空,、惰性氣氛,、氧氣、氫氣,、混合氣等不同環(huán)境下使用,;
SiAu, SiAl, SiMo合金化;
低介電材料,;
晶體化,,致密化;
太陽能電池片鍵合,。
硬件更換:
1.加熱燈管更換:加熱燈管超過使用壽命或無法點(diǎn)亮?xí)r需進(jìn)行更換,。加熱燈管的使用壽命為3000小時,高溫狀態(tài)下會降低其使用壽命,。
2.真空泵油更換:在使用過程中,,請每季度固定觀察1次真空油表,當(dāng)油表顯示油量低于1/3時請?zhí)砑诱婵毡脻櫥偷接捅硪话胍陨稀?/div>
3.熱電偶更換:當(dāng)熱電偶測溫不正?;蛘邠p壞時需進(jìn)行更換,。熱電偶的正常使用壽命為3個月,隨環(huán)境因素降低其壽命,。
4.O型圈的更換:O型圈表面有明顯破損或者無法氣密時需進(jìn)行更換,,其壽命受外力以及溫度因素影響,。
 

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