RTP-200 8寸快速退火爐/德國UniTemp
- 公司名稱 上海麥科威半導(dǎo)體技術(shù)有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào) RTP-200
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時(shí)間 2025/6/23 14:44:01
- 訪問次數(shù) 154
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RTP-200快速退火爐為德國優(yōu)尼坦公司生產(chǎn),,分為RTP-100,,RTP-150,RSO-200,,VPO-300共四個(gè)型號(hào),,分別對(duì)應(yīng)4英寸,、6英寸、8英寸,、12英寸的真空快速退火爐產(chǎn)品,。
8寸快速退火爐/德國UniTemp技術(shù)規(guī)格:
- 溫度:1200攝氏度;
- 升溫速率:150攝氏度/秒,;
- 降溫速度:200攝氏度/分鐘 (1000攝氏度-->400攝氏度),;
- 溫控均勻性:≤1.5%設(shè)定溫度;
- 加熱方式:紅外鹵素?zé)?,頂部及底部加熱?/p>
- 燈管數(shù)量及功率:18支/20千瓦(RTP-100),,24支/21千瓦(RTP-150);
- 腔體冷卻:水冷方式,;
- 襯底冷卻:氮?dú)獯祾撸?/p>
- 工藝氣路:MFC控制,,最多4路 (氮?dú)狻鍤?、氧氣,、氫氮混合氣?;
- 主機(jī)尺寸及重量:505mmx504mmx420mm (WxDxH),,約55Kg,。
8寸快速退火爐/德國UniTemp特點(diǎn):
- 真空快速退火爐,有低真空型號(hào)(10-3hPa),、高真空型號(hào)(10-6hPa),;
- 可在不同氣氛環(huán)境下使用,如惰性氣體,、氧氣,、氫氮混合氣等;
- 控制方式:SIMATIC,,SPS人機(jī)界面控制,,7英寸觸摸屏;
- 可存儲(chǔ)50個(gè)程序,,每個(gè)程序最多分為50段控制,;
- 全自動(dòng)智能控制,包括溫度,、時(shí)間,、氣體流量、真空度,、循環(huán)水均可自動(dòng)設(shè)置,;
- 優(yōu)異的溫控均勻性,工藝重現(xiàn)性;
- 小尺寸臺(tái)式設(shè)計(jì),。
應(yīng)用領(lǐng)域:
- 離子注入/接觸退火,;
- 快速熱處理(RTP),快速退火(RTA),,快速熱氧化(RTO),,快速熱氮化(RTN);
- 可在真空,、惰性氣氛,、氧氣、氫氣,、混合氣等不同環(huán)境下使用;
- SiAu,,SiAl,,SiMo合金化;
- 低介電材料,;
- 晶體化,,致密化;
- 太陽能電池片鍵合,。