全自動快速退火爐
參考價 | ¥ 0.01 |
訂貨量 | ≥1件 |
- 公司名稱 武漢賽斯特精密儀器有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2025/3/20 16:14:22
- 訪問次數(shù) 14
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產(chǎn)品特點(diǎn):
紅外鹵素?zé)艄芗訜?,,冷卻采用風(fēng)冷
燈管功率 PID 控溫,可精準(zhǔn)控制溫度升溫 ,,保證良好的重現(xiàn)性與溫度均勻性
大氣與真空處理方式均可選擇,進(jìn)氣前氣體凈化處理
標(biāo)配兩組工藝氣體,,最多可擴(kuò)展至 6 組工藝氣
采用平行氣路進(jìn)氣方式,,氣體的進(jìn)入口設(shè)置在 Wafer 表面,避免退火過程中冷點(diǎn)產(chǎn)生,,保證產(chǎn)品良好 的溫度均勻性
技術(shù)參數(shù):
最大產(chǎn)品尺寸最大處理 200×200mm,,兼容8寸,,及8寸以下wafe
腔體數(shù)量:單腔
腔體溫度監(jiān)控:<70℃
溫度范圍:室溫~1250℃
溫度控制重復(fù)性:±2℃
恒溫持續(xù)時間:可依據(jù)要求編程
控溫區(qū)域:多組控溫區(qū)域,保證恒溫區(qū)溫度穩(wěn)定性
抽氣速率:500SLM
漏率:30mTorr/min
SCR 控溫區(qū)域:16 組控溫區(qū)
降溫速度:約 200℃/min(1000~400℃) 不可編程
持溫時間:可依據(jù)制程需求設(shè)定持溫時間
燈管電流精度:≤±0.1amp
燈管:平均 1500 小時以上使用壽命,,上下兩面同時加熱