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桌面式掃描電鏡的基本原理及應用

來源:深圳市中圖儀器股份有限公司   2025年02月13日 08:59  

桌面式掃描電鏡是掃描電子顯微鏡的一種類型,,它在結(jié)構設計,、功能特點等方面都有自身獨te之處,以下從其定義,、原理,、特點、應用場景等方面進行具體介紹:

1,、定義與基本原理

- 定義:桌面式掃描電鏡是一種小型化,、緊湊設計的掃描電子顯微鏡,通??梢苑胖迷谄胀▽嶒炇业淖烂嫔鲜褂?,為用戶提供了一種相對便捷、經(jīng)濟的微觀結(jié)構觀察和分析工具,。

- 原理:與傳統(tǒng)掃描電鏡類似,,桌面式掃描電鏡也是利用電子槍發(fā)射出的電子束,經(jīng)過電磁透鏡聚焦和偏轉(zhuǎn)系統(tǒng)的作用,,形成一束能量較高,、直徑很細的電子探針。該電子探針在樣品表面進行逐點掃描,,電子束與樣品相互作用,,產(chǎn)生二次電子、背散射電子等信號,。這些信號被探測器收集并轉(zhuǎn)換為電信號,再經(jīng)過放大和處理后,,在顯示器上顯示出樣品表面的微觀形貌圖像,。

2,、結(jié)構特點

- 緊湊的整體結(jié)構:將電子光學系統(tǒng)、真空系統(tǒng),、信號檢測系統(tǒng)等集成在一個相對較小的機箱內(nèi),,體積通常明顯小于傳統(tǒng)的大型掃描電鏡,一般長度,、寬度在幾十厘米左右,,高度也相對較低,占用實驗室空間小,,便于安裝和使用,。

- 簡單的真空系統(tǒng):采用相對簡單的真空獲取和維持裝置,如可能使用小型的機械泵和渦輪分子泵組合,,能夠在較短時間內(nèi)達到所需的真空度,,而且真空系統(tǒng)的操作和維護相對容易。

- 靈活的樣品臺:配備的樣品臺雖然尺寸較小,,但通常具備多種運動功能,,如平移、旋轉(zhuǎn),、傾斜等,,方便用戶對樣品進行不同角度和位置的觀察,以獲取全面的微觀結(jié)構信息,。

3,、性能特點

- 中等分辨率:一般來說,桌面式掃描電鏡的分辨率能夠達到納米級別,,通常在3 - 10納米左右,,雖然與大型掃描電鏡相比分辨率稍低,但足以滿足許多常規(guī)的材料微觀結(jié)構觀察和分析需求,,如觀察材料的表面形貌,、顆粒大小和分布等。

- 較低的加速電壓:加速電壓一般在1 - 30千伏之間可調(diào),,較低的加速電壓可以減少電子束對樣品的損傷,,尤其適用于一些對電子束敏感的樣品,如生物樣品,、高分子材料等,。

- 快速成像:具備較快的掃描速度和成像能力,能夠在較短時間內(nèi)獲取樣品表面的圖像,,提高了工作效率,,對于一些需要快速觀察和初步分析的樣品非常適用。

4、應用場景

- 材料科學:可用于觀察金屬材料的微觀組織,、陶瓷材料的晶粒結(jié)構,、高分子材料的表面形貌等,幫助研究人員了解材料的微觀結(jié)構與性能之間的關系,,進行材料的研發(fā)和質(zhì)量控制,。

- 電子工業(yè):在半導體制造、電路板生產(chǎn)等領域,,用于檢測芯片表面的缺陷,、觀察電路板上的焊點質(zhì)量、分析電子元件的微觀結(jié)構等,,保障電子產(chǎn)品的質(zhì)量和性能,。

- 生物醫(yī)學:能夠?qū)ι飿悠啡缂毎⒔M織切片等進行觀察,,輔助醫(yī)學研究和診斷,,例如觀察癌細胞的形態(tài)特征、研究生物材料與細胞的相互作用等,。

- 教育教學:適合在高校,、中學的實驗室中作為教學工具,幫助學生直觀地了解微觀世界,,進行材料科學,、生物學等相關課程的實驗教學,培養(yǎng)學生的科學素養(yǎng)和實踐能力,。

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CEM3000臺式掃描電鏡現(xiàn)場隨機進行70000X倍成像

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