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【資訊】0.44埃,！顯微鏡分辨率新紀(jì)錄,！| Science
長期以來，亞埃級(jí)電子顯微分辨率一直局限于像差校正電子顯微鏡,，它是理解物質(zhì)的原子結(jié)構(gòu)和性質(zhì)的有力工具,。
近日,，美國伊利諾伊大學(xué)香檳分校(University of Illinois Urbana–Champai)Kayla X. Nguyen,，Chia-Hao Lee，Pinshane Y. Huang等,，阿貢國家實(shí)驗(yàn)室(Argonne National Laboratory)Yi Jiang等,，在Science上發(fā)文，報(bào)道了未校正掃描透射電子顯微鏡scanning transmission electron microscope (STEM) 中的電子相干衍射成像,，其深亞?？臻g分辨率低至0.44埃,，超過了像差校正工具的常規(guī)分辨率，并與它們的最高圖像分辨率相媲美,。
Achieving sub-0.5-angstrom-resolution ptychography in an uncorrected electron microscope在未校正的電子顯微鏡中，獲得低于0.5埃分辨率的圖像,。
圖1. 未校正和畸變校正的STEMs中扭曲雙層WSe2的ADF-STEM
圖2. 未校正顯微鏡下扭曲雙層WSe2
圖3. 亞埃分辨率的電子相干衍射模擬
圖4. 利用像差技術(shù)優(yōu)化電子相干衍射探針
在廣泛使用的商業(yè)顯微鏡中，演示了二維轉(zhuǎn)角材料,，遠(yuǎn)遠(yuǎn)超過了先前未校正的STEM分辨率(1到5埃),。還進(jìn)一步展示了幾何像差如何為劑量有效的電子成像創(chuàng)造優(yōu)化的結(jié)構(gòu)光束。研究表明,，對(duì)于深亞埃分辨率,，不再需要昂貴的像差校正器,。
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FS70系列半導(dǎo)體檢測(cè)顯微鏡單元是一款帶目鏡觀察的小巧顯微鏡單元。適于檢測(cè)金屬表面,、半導(dǎo)體,、液晶基板、樹脂等,。可應(yīng)用于切割,、修整,、校正、 給半導(dǎo)體電路做標(biāo)記/ 薄膜(絕緣膜) 清潔與加工,、液晶彩色濾光器的修復(fù)(校正錯(cuò)誤),。還可用作光學(xué)觀察剖面圖以便探針分析半導(dǎo)體故障。
通用參數(shù)
特點(diǎn)
采用Mitutoyo遠(yuǎn)場(chǎng)校正鏡頭
三端輸出設(shè)計(jì)可輕松接收視頻
轉(zhuǎn)盤可接最多四個(gè)物鏡
應(yīng)用：
切割,、修整、校正,、 給半導(dǎo)體電路做標(biāo)記
薄膜(絕緣膜) 清潔與加工,、液晶彩色濾光器的修復(fù)(校正錯(cuò)誤),。
還可用作光學(xué)觀察剖面圖以便探針分析半導(dǎo)體故障,。
• 可用于紅外光學(xué)系統(tǒng)*。
應(yīng)用：晶體硅的內(nèi)部觀察,；紅外光譜特征分析。
* 需要紅外光源和紅外攝像機(jī),。
• 支持BF (亮視場(chǎng)),、DF (暗視場(chǎng))、偏振光及微分干涉對(duì)比(DIC) 的型號(hào)(產(chǎn)品) 可用,。
• 帶有孔徑光闌的柯勒照明是表面照明光學(xué)系統(tǒng)上的標(biāo)準(zhǔn)配件。
• 內(nèi)傾轉(zhuǎn)塔和超長工作距離的物鏡確保了顯微鏡下的高可操作性,。
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參考文獻(xiàn)： 中國光學(xué)期刊網(wǎng)
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