超高分辨場發(fā)射掃描電子顯微鏡Regulus8100

"Regulus系列"是日立的FE-SEM的全新品牌,，包括作為SU8010的后續(xù)機(jī)型開發(fā)的 "Regulus8100" 以及SU8200系列的升級 "Regulus8220" "Regulus8230" "Regulus8240"，共4個(gè)機(jī)型,，均實(shí)現(xiàn)了分辨率和操作性的強(qiáng)化,。




掃描電子顯微鏡（SEM）被廣泛應(yīng)用于納米技術(shù)，半導(dǎo)體?電子行業(yè),，生命科學(xué),，材料科學(xué)等領(lǐng)域的材料結(jié)構(gòu)觀察。近年來，新一代的電子器件應(yīng)用中受到廣泛期待的新型碳材料,，高分子材料,，復(fù)合材料等的研究作為科學(xué)技術(shù)的中堅(jiān)技術(shù)，在范圍內(nèi)受到熱捧,。掃描電子顯微鏡廣泛用于這些材料的觀察?評價(jià),，但僅僅具有超高分辨率還遠(yuǎn)遠(yuǎn)不夠。還要求能在低加速電壓下對表面細(xì)微結(jié)構(gòu)的觀察和高靈敏度的元素分析,。除此之外,，在長期的研究過程中還追求電鏡的性能的持續(xù)穩(wěn)定和信賴性,。