中科科儀掃描電鏡

簡(jiǎn)介
掃描電鏡作為一種通用大型科學(xué)儀器,，是人類認(rèn)識(shí),、探索微觀重要的工具，是肉眼觀察和光學(xué)顯微鏡觀測(cè)的延伸,。人類眼睛的分辨率大約0.2毫米,，可以看到一根頭發(fā)絲的粗細(xì)、一張紙的厚度,；借助于光學(xué)顯微鏡可以看到0.2微米的這個(gè)尺度,，可以看到細(xì)胞、細(xì)菌的結(jié)構(gòu)等,；而借助掃描電子顯微鏡,，就可以觀察到納米級(jí)尺度，可以觀測(cè)到病毒,、半導(dǎo)體器件的納米結(jié)構(gòu)等,。

掃描電鏡廣泛應(yīng)用到材料科學(xué)、生命科學(xué),、航天航空,、環(huán)境保護(hù)、半導(dǎo)體制造等領(lǐng)域,，解決微米至納米尺度的微觀形貌觀測(cè)以及微區(qū)成分分析問題,，為我國(guó)前沿科學(xué)研究、重大工程和戰(zhàn)略新興產(chǎn)業(yè)的發(fā)展提供了重要支撐,。

KYKY-EM6 900 鎢燈絲掃描電鏡
產(chǎn)品特點(diǎn)

• 具備較高分辨率,，滿足大多數(shù)樣品的微觀形貌測(cè)試

• 翻開式預(yù)對(duì)中鎢絲陰極，更換燈絲方便

• 成像效果優(yōu)良,，細(xì)節(jié)清晰,，景深大

• 樣品倉(cāng)室可多接口擴(kuò)展，滿足諸多原位測(cè)試,，以及多功能嵌入

• 中英文菜單,，一鍵切換

• 自動(dòng)功能：電子槍加熱、偏壓,、對(duì)中,、聚焦,、亮度、對(duì)比度,、消像散,、像散記憶等。

• 自動(dòng)校正,，自動(dòng)故障檢測(cè)

技術(shù)參數(shù)

分辨率   3nm@30kV（SE）
樣品臺(tái)    自動(dòng)樣品臺(tái)
加速電壓  0～30kV連續(xù)可調(diào)
探測(cè)器   高真空二次電子探測(cè)器,、半導(dǎo)體四分割背散射電子探測(cè)器、CCD
燈絲    六硼化鑭（選配）

電子光學(xué)鏡筒部分： 800×800×1850(mm)
電器柜控制部分： 1340×850×740(mm)

優(yōu)勢(shì)

1.分辨率高,、成像質(zhì)量好

2.翻開式預(yù)對(duì)中鎢絲陰極,、選配六硼化鑭燈絲

3.中英文操作界面，具有一鍵成像功能

4.低維護(hù),、維修成本

KYKY-EM 6900LV 鎢燈絲掃描電鏡

產(chǎn)品特點(diǎn)

• 具備較高分辨率,，滿足大多數(shù)樣品的微觀形貌測(cè)試，尤其適合不便噴涂導(dǎo)電膜的試樣

• 翻開式槍室結(jié)構(gòu)鎢絲陰極,，更換燈絲方便

• 結(jié)構(gòu)可實(shí)現(xiàn)樣品室低真空氛圍（10-270Pa）,，有效降低電荷積累

• 成像效果優(yōu)良，細(xì)節(jié)清晰,，景深大

• 中英文菜單,，一鍵成像

• 易操作，低故障,，適合多試樣測(cè)試

• 自動(dòng)功能：電子槍加熱、偏壓,、對(duì)中,、聚焦、亮度,、對(duì)比度,、消像散、像散記憶等

• 自動(dòng)校正,，自動(dòng)故障檢測(cè)

技術(shù)參數(shù)
分辨率   3nm@30KV（SE,，高真空）； 6nm@30KV（BSE,，高,、低真空）
放大倍率 8～300000 倍
電子槍 翻開式預(yù)對(duì)中鎢絲陰極
加速電壓  0～30kV連續(xù)可調(diào)，0-10kV步進(jìn)量為100V,，10kV以上步進(jìn)量為1kV
中英文菜單  具有一鍵切換功能
低真空模式  10~270Pa,，真空切換時(shí)間小于90秒
樣品臺(tái)  四軸自動(dòng)樣品臺(tái)
電子光學(xué)鏡筒部分： 800×800×1850(mm)
電器柜控制部分： 1340×850×740(mm)

特性

1）具備低真空功能

2）分辨率高、成像質(zhì)量好

3）翻開式預(yù)對(duì)中鎢絲陰極,、選配六硼化鑭燈絲

4）中英文操作界面,，具有一鍵成像功能

選配件： EBL,、高低溫臺(tái)、納米操作臺(tái),、拉伸臺(tái)
選配探測(cè)器： EBSD,、EDS、CL

應(yīng)用領(lǐng)域
電池材料,、半導(dǎo)體,、復(fù)合材料、高分子,、動(dòng)植物,、微生物、粉末冶金,、礦物,、金屬行業(yè)、建筑材料,、化工材料,、陶瓷材料。

KYKY-EM8000 性能參數(shù)

分辨率
1.5 nm(15KV); 5nm(3KV)

放大倍數(shù)
15x~500,000x

加速電壓
0 ~ 30KV

電子槍
Schottky肖特基場(chǎng)發(fā)射電子槍

自動(dòng)調(diào)整功能
聚焦,、亮度/對(duì)比度,、消像散、電子束對(duì)中等

真空系統(tǒng)
高真空二次電子探測(cè)器（具備保護(hù)探測(cè)器探頭不被碰撞的功能）

行程
X0 ~ 80mmY0 ~ 60mmZ0 ~ 50mmR360°T-5° ~ 90°

探測(cè)器
SE探測(cè)器,，BSE探測(cè)器（可選）,，X-ray能譜儀（可選），EBSD（可選）

KYKY-EM8100 場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡

具有高性能肖特基場(chǎng)發(fā)射電子槍,，低加速電壓成像,，并具備超大樣品腔室和多探測(cè)器擴(kuò)展接口，適用于多種原位測(cè)試,。該設(shè)備具備長(zhǎng)時(shí)間工作的穩(wěn)定性,，能直接觀測(cè)非導(dǎo)體試樣或電子束敏感試樣而無(wú)需噴鍍導(dǎo)電膜。其分辨率可達(dá)0.9nm（30kV）,，放大倍率高達(dá)2-3000000倍,，適用于電池材料、半導(dǎo)體,、復(fù)合材料等多個(gè)領(lǐng)域的研究,。

產(chǎn)品特點(diǎn)：

高性能肖特基場(chǎng)發(fā)射電子槍，亮度高,、單色性好,、束斑小、壽命長(zhǎng)

具備的低加速電壓成像性能

超大樣品腔室,，更多擴(kuò)展接口,，滿足多探測(cè)器,、多功能聯(lián)用、多嵌入原位測(cè)試

束流穩(wěn)定,，滿足長(zhǎng)時(shí)間工作需求

非導(dǎo)體試樣或電子束敏感試樣可不噴涂導(dǎo)電膜直接觀測(cè)



技術(shù)指標(biāo)：

分辨率    0.9nm@30KV（SE）; 3.0nm@1KV（SE） ; 2.5nm@30KV （BSE）
放大倍率   2-3000000 倍
加速電壓   0.2～30kV
電子槍    肖特基熱場(chǎng)發(fā)射電子槍 
樣品臺(tái)    五軸全自動(dòng)預(yù)對(duì)中樣品臺(tái)  
透鏡系統(tǒng)   多級(jí)高性能透鏡系統(tǒng),，低像差錐形物鏡    
探測(cè)器    高真空二次電子探測(cè)器（具備防碰撞功能）    

應(yīng)用領(lǐng)域：

電池材料、半導(dǎo)體,、復(fù)合材料,、高分子、動(dòng)植物,、微生物,、粉末冶金、礦物,、金屬行業(yè),、建筑材料、化工材料,、陶瓷材料

中科科儀掃描電鏡行業(yè)應(yīng)用

半導(dǎo)體

化工

建筑地質(zhì)

生命科學(xué)

陶瓷粉末

新能源

冶金礦業(yè)