MKP氣體流量控制器VIC-D240

來源：深圳市現(xiàn)代豪方儀器儀表科技有限公司 2024年09月04日 15:22

MKP氣體流量控制器VIC-D240
MKP氣體流量控制器VIC-D240
吳經(jīng)理： 132.4667.5433

VIC-D240氣體流量控制器

特點(diǎn)：

因適用PTFE DISK,，整個(gè)區(qū)間的回應(yīng)時(shí)間快

對(duì)毒性和腐蝕性氣體的耐久性大幅增加

采用浪涌及耐電壓保護(hù)電路

通過溫度補(bǔ)正，在周圍溫度變化下也可維持準(zhǔn)確度

產(chǎn)品配置

流量范圍(N2 標(biāo)準(zhǔn))：5sccm~2500slm

流量控制范圍：滿量程的2 ~ 10%

準(zhǔn)確度：滿量程的≤ ± 1%

回應(yīng)時(shí)間：≤ 1.0 sec (10 ~ 10%)

線性,；滿量程的≤ ± 0.2%

運(yùn)轉(zhuǎn)原理,；熱式

控制閥形式；Normally Closed Solenoid

密封種類,；Elastomer (Viton, Viton-ETP, Kalrez, etc.)

輸入輸出信號(hào),；模擬性: 0 ~ 5Vdc or 4 ~ 20mA

數(shù)字型: RS-485(Optional : DeviceNet, EtherCat)

MKP氣體流量控制器VIC-D240

MKP氣體質(zhì)量流量控制器（Mass Flow Controller縮寫為MFC）用于對(duì)于氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測(cè)量和控制,；氣體質(zhì)量流量計(jì)（Mass Flow Meter縮寫為MFM）用于對(duì)于氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測(cè)量,。擴(kuò)散，氧化,，分子束外延,，CVD，等離子刻蝕，濺射,，離子注入,，以及真空鍍膜設(shè)備，光纖熔煉,，微反應(yīng)裝置,，混氣配氣系統(tǒng)，毛細(xì)管測(cè)量氣象色譜儀,，光導(dǎo)纖維制造設(shè)備中,。并廣泛用于石油化工，冶金,，制藥等,。特點(diǎn)：精度高，重復(fù)性好,。

電源供應(yīng),；+15VDC ~ +24VDC

運(yùn)轉(zhuǎn)溫度；5 ~ 50℃ (建議溫度范圍: 15 ~ 35℃)

連接器,；Standard : D-SUB 9 pin Male

Optional : DeviceNet Micro style Connector, RJ45

MKP氣體流量控制器VIC-D240

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