化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>行業(yè)專用儀器及設(shè)備>其它行業(yè)專用儀器>其它專用儀器>ELEC-RZ 日本ULVAC愛發(fā)科真空搬運(yùn)機(jī)器人
ELEC-RZ 日本ULVAC愛發(fā)科真空搬運(yùn)機(jī)器人
參考價(jià) | ¥ 3000 |
訂貨量 | ≥1件 |
- 公司名稱 湖南中崎科技有限公司
- 品牌 ULVAC/日本愛發(fā)科
- 型號(hào) ELEC-RZ
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時(shí)間 2025/6/28 14:24:38
- 訪問次數(shù) 23
ULVACULVAC ELEC-RZELEC-RZULVAC 機(jī)器人真空搬運(yùn)機(jī)器人ELEC-RZ
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光學(xué)設(shè)備,,電子計(jì)測(cè)儀器,科學(xué)儀器,,實(shí)驗(yàn)室設(shè)備,,機(jī)械加工設(shè)備,環(huán)境試驗(yàn)設(shè)備
產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,化工,電子/電池,綜合 |
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日本ULVAC愛發(fā)科真空搬運(yùn)機(jī)器人
日本ULVAC愛發(fā)科真空搬運(yùn)機(jī)器人
特征
磁流體密封用于真空密封,,可使用高達(dá) 10-6Pa 的高真空,。
執(zhí)行器的小型化使其更緊湊,更容易安裝在設(shè)備中,。
根據(jù)行程,、轉(zhuǎn)彎半徑,、手?jǐn)?shù)等,有多種手臂可供選擇,。
它使用具有出色作性的多功能顯示示教器,。
規(guī)格
型 | 電 RZ | |
工作壓力區(qū)域 | 大氣壓~10-6Pa | |
晶圓尺寸 | 200 毫米/300 毫米 | |
持有的晶圓數(shù)量 | 1 件/2 件 | |
最大范圍 * | 1050 毫米 | |
旋轉(zhuǎn)角度 | ±210° | |
提升行程 | 50 毫米 | |
最小旋轉(zhuǎn)直徑 * | 964mm 取決于安裝臂 | |
有效載荷能力(包括手) | 1 千克 | |
作速度 伸縮式 | 伸縮 | 最大 2.5 秒 / 全行程 |
把 | 最大 3.0 秒 / 180° | |
提升 | 最大 1.5 秒 / 20 毫米 | |
可重復(fù)的位置精度 | 伸縮 | ±0.1 毫米 |
把 | ±0.1 毫米 | |
提升 | ±0.1 毫米 | |
示教器 | 附屬品 | |
控制器 | 分開 |
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