EGN-206M 日本ULVAC愛發(fā)科金屬氣相沉積電子束蒸發(fā)源
參考價 | ¥ 2000 |
訂貨量 | ≥1件 |
- 公司名稱 湖南中崎科技有限公司
- 品牌 ULVAC/日本愛發(fā)科
- 型號 EGN-206M
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時間 2025/6/27 16:33:08
- 訪問次數(shù) 25
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供貨周期 | 現(xiàn)貨 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,化工,電子/電池,綜合 |
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日本ULVAC愛發(fā)科金屬氣相沉積電子束蒸發(fā)源
日本ULVAC愛發(fā)科金屬氣相沉積電子束蒸發(fā)源
特征
它抑制背向散射電子并抑制襯底溫度的升高,。
平頂結(jié)構(gòu)減少了電子束蒸發(fā)源上的沉積面積,使其易于清潔,。
與以前的型號相比,,新的發(fā)射器結(jié)構(gòu)將零件數(shù)量減少到 60%,使組裝更容易,。
可以選擇用于金屬沉積的帶狀光束和用于氧化物/化合物的點光束,。
作為設(shè)備制造商積累的專有技術(shù)的反饋到設(shè)計。
規(guī)格
型 | EGN-206M 型 | EGN-406M | |
電子束偏轉(zhuǎn)角 | 270° | ||
坩堝數(shù)量 | 6 | ||
坩堝容量 | 20毫升 | 40毫升 | |
坩堝尺寸: 頂部 × 底部× 深度 | Φ42×Φ32×19(毫米) | Φ50×Φ41×25(毫米) | |
冷卻水 | 爐 邊 | 10L/min 或更高 | |
其他 | 2L/min 或更高 | ||
尺寸尺寸(寬×深×高) 不包含突起項 | 214×343×144(毫米) | ||
重量 | 28 公斤或以下 | ||
沉積速率 | 1.6μm/min (帶狀光束 / 鋁 / 8kW / 40cc 坩堝 / 爐膛正上方 250H) | ||
最大加速電壓 | -10kV | ||
最大發(fā)射電流 | 0.8 安培 | 1.0 安培 | |
適用電源 | 電子產(chǎn)品HPS-1000N-100/HPS-1000N-200 |
中崎目前已獲得CCS晰寫速,、SEN日森,、EYE巖崎、USHIO牛尾,、NIPPON GEAR日本齒輪,、KAKUHUNTER寫真化學(xué)、FUNATECH船越龍,、HIKARIYA光屋,、SERIC索萊克斯、REVOX萊寶克斯,、NITTO KOHKI日東工器,、ATAGO愛拓、SONIC索尼克,、SIGMA西格瑪,、SUGIYAMA杉山電機、HAYASHI林時計,、ORIHARA折原,、YUASA尤安薩、EYELA東京理化,、SANKO三高,、NEWKON新光,、HEIDON新東科學(xué)、SIBATA柴田科學(xué),、HORIBA堀場,、TAKASAGO高沙、MITUTOYO三豐,、JIKCO吉高,、NPM脈沖、AND愛安德,、ONOSOKKI小野,、PISCO碧士克、TOPCON拓普康,、NDK電波工業(yè),、STANLEY史丹利、HIOS好握速,、SATA世達,、HAKKO白光、TOHNICHI東日等多家品牌授權(quán)認證,。