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電子掃描電鏡是介于透射電鏡和光學(xué)顯微鏡之間的一種微觀(guān)形貌觀(guān)察手段，可直接利用樣品表面材料的物質(zhì)性能進(jìn)行微觀(guān)成像,。具有制樣簡(jiǎn)單,、放大倍數(shù)可調(diào)范圍寬、圖像的分辨率高,、景深大等特點(diǎn),，故被廣泛地應(yīng)用于化學(xué)、生物,、冶金,、材料、半導(dǎo)體制造,、微電路檢查等各個(gè)研究領(lǐng)域和工業(yè)部門(mén),。
電子掃描電鏡測(cè)試原理：
電子槍發(fā)射出的電子束經(jīng)過(guò)聚焦后匯聚成點(diǎn)光源,；點(diǎn)光源在加速電壓下形成高能電子束；高能電子束經(jīng)由兩個(gè)電磁透鏡被聚焦成直徑微小的光點(diǎn),，在透過(guò)最后一級(jí)帶有掃描線(xiàn)圈的電磁透鏡后,，電子束以光柵狀掃描的方式逐點(diǎn)轟擊到樣品表面，同時(shí)激發(fā)出不同深度的電子信號(hào),。此時(shí),，電子信號(hào)會(huì)被樣品上方不同信號(hào)接收器的探頭接收，通過(guò)放大器同步傳送到電腦顯示屏,，形成實(shí)時(shí)成像記錄,。
該產(chǎn)品以其高分辨率、大視場(chǎng),、立體成像以及分析能力出眾等優(yōu)勢(shì),，成為科研和工業(yè)領(lǐng)域常用的精密儀器。隨著技術(shù)的不斷進(jìn)步,，掃描電鏡的性能將更加*越,，其應(yīng)用領(lǐng)域也將持續(xù)擴(kuò)展，為人類(lèi)深入探索微觀(guān)奧秘貢獻(xiàn)更大力量,。
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