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電子掃描電鏡是介于透射電鏡和光學(xué)顯微鏡之間的一種微觀形貌觀察手段，可直接利用樣品表面材料的物質(zhì)性能進(jìn)行微觀成像,。具有制樣簡單、放大倍數(shù)可調(diào)范圍寬,、圖像的分辨率高,、景深大等特點，故被廣泛地應(yīng)用于化學(xué),、生物,、冶金、材料,、半導(dǎo)體制造,、微電路檢查等各個研究領(lǐng)域和工業(yè)部門。
電子掃描電鏡測試原理：
電子槍發(fā)射出的電子束經(jīng)過聚焦后匯聚成點光源,；點光源在加速電壓下形成高能電子束,；高能電子束經(jīng)由兩個電磁透鏡被聚焦成直徑微小的光點，在透過最后一級帶有掃描線圈的電磁透鏡后,，電子束以光柵狀掃描的方式逐點轟擊到樣品表面,，同時激發(fā)出不同深度的電子信號。此時,，電子信號會被樣品上方不同信號接收器的探頭接收,，通過放大器同步傳送到電腦顯示屏，形成實時成像記錄,。
該產(chǎn)品以其高分辨率,、大視場、立體成像以及分析能力出眾等優(yōu)勢，成為科研和工業(yè)領(lǐng)域常用的精密儀器,。隨著技術(shù)的不斷進(jìn)步,，掃描電鏡的性能將更加*越，其應(yīng)用領(lǐng)域也將持續(xù)擴(kuò)展,，為人類深入探索微觀奧秘貢獻(xiàn)更大力量,。
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