一,、 優(yōu)勢(shì)簡(jiǎn)介：

??MicroSense的高精度電容式位移傳在感器,，除具有一般非接觸式儀器的共性外，還具有信噪比高,、靈敏度高,、零漂小、頻響寬,、非線性小,、精度穩(wěn)定性好、抗電磁干擾能力強(qiáng),、使用方便等優(yōu)點(diǎn),，在國(guó)內(nèi)研究所、高等院校,、企業(yè)得到廣泛應(yīng)用,，成為科研、教學(xué)和生產(chǎn)中一種非常重要的測(cè)試儀器,。

??二,、 特點(diǎn)：

??1、可實(shí)現(xiàn)近距離,、高精度,、非接觸式位置測(cè)量

??2、分辨率可達(dá)亞納米級(jí)直至皮納米級(jí),，在所有商用電容傳感器品牌中,，噪音ZUI低

??3、提供多種型號(hào)的探頭,，以滿(mǎn)足高穩(wěn)定性,、線性或高測(cè)量帶寬等不同需求

??4、可選擇單一通道或多通道（3U歐洲卡機(jī)架安裝標(biāo)準(zhǔn)）

??三,、 型號(hào)簡(jiǎn)介：

??1,、被動(dòng)式電容位移傳感器，代表型號(hào)：48XX 系列，88XX系列,，Mini系列

??被動(dòng)式電容傳感器基于追求最佳的線性和穩(wěn)定性而設(shè)計(jì),，測(cè)量帶寬達(dá)20千赫，專(zhuān)用于伺服系統(tǒng)運(yùn)動(dòng)行程反饋,，尤其是高精密機(jī)床的系統(tǒng)伺服運(yùn)動(dòng)行程反饋,。

??2、主動(dòng)式電容位移傳感器,，代表型號(hào)：58XX系列,，68XX系列

??主動(dòng)式電容傳感器突破了納米分辨率壁壘，實(shí)現(xiàn)了亞納米分辨率與快速響應(yīng),，測(cè)量帶寬高達(dá)100千赫,。

??6810型號(hào)擅長(zhǎng)高動(dòng)態(tài)測(cè)量，即測(cè)量對(duì)象為高速旋轉(zhuǎn)或振蕩的物體,，如精密硬盤(pán)驅(qū)動(dòng)主軸電機(jī),、精密空氣軸承主軸、機(jī)械軸承機(jī)床主軸等,。

?  主要應(yīng)用的場(chǎng)合是,，分辨率要求在1-2nm或更小的跳動(dòng)測(cè)量，如軸向和徑向不重復(fù)的跳動(dòng),，或者異步誤差運(yùn)動(dòng)(NRRO-non-repeatable run out or asychronous error motion),。

??四、 性能：

??1,、測(cè)量距離在± 5 um到± 1 mm內(nèi)

??2,、高測(cè)量帶寬（高頻率響應(yīng)）可選范圍：1 kHz, 5 kHz, 20 kHz，100 kHz

??3,、適用于任何接地,、導(dǎo)電的目標(biāo)，材料或表面光潔度對(duì)精度無(wú)影響

??4,、分辨率可實(shí)現(xiàn)亞納米級(jí),，由傳感器探頭尺寸、帶寬,、測(cè)量距離共同決定

??5,、線性度優(yōu)于滿(mǎn)量程測(cè)量的0.025%，由傳感器探頭尺寸,、帶寬,、測(cè)量距離共同決定