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Microsense 5810/6810 電容式位移傳感器

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岱美儀器技術服務(上海)有限公司(Dymek Company Ltd ,,下面簡稱岱美)成立于1989年,是一間擁有多年經驗的高科技設備分銷商,,主要為數據存儲,、半導體、光通訊,、高校及研發(fā)中心提供各類測量設備,、工序設備以及相應的技術支持,并與一些重要的客戶建立了長期合作的關系,。自1989年創(chuàng)立至今,,岱美的產品以及各類服務、解決方案廣泛地運用于中國香港,,中國大陸(上海,、東莞,、北京),,中國臺灣,泰國,,菲律賓,,馬來西亞,越南及新加坡等地區(qū),。


岱美在中國大陸地區(qū)主要銷售或提供技術支持的產品:

晶圓鍵合機,、納米壓印設備、紫外光刻機,、涂膠顯影機,、硅片清洗機、超薄晶圓處理設備,、光學三維輪廓儀,、硅穿孔TSV量測、非接觸式光學三坐標測量儀,、薄膜厚度檢測儀,、主動及被動式防震臺系統(tǒng),、應力檢測儀、電容式位移傳感器,、定心儀等,。


岱美重要合作伙伴包括有:

Thetametrisis, EVG, FSM, Opto-Alignment, Herz, PLSINTEC, Film Sense, Reditech, Lazin, Delcom, Microsense, Shb, boffotto, RTEC, Kosaka, Nanotronics, MTInc, 4D, Daeil, Microphysics,

n&k Technology, First Nano, Schmitt, LESCO, Otsuka, STI, Kurashiki, Ryokosha, SURAGUS, Westbond...


如有需要,請聯(lián)系我們,,了解我們如何開始與您之間的合作,,實現您的企業(yè)或者組織機構長期發(fā)展的目標。




膜厚儀,,輪廓儀,,EVG鍵合機,EVG光刻機,,HERZ隔震臺,,Microsense電容式位移傳感器

應用領域 電子,交通,航天,汽車,電氣
       電容位移傳感器是一種非接觸電容式原理的精密測量儀器,具有一般非接觸式儀器所共有的無磨擦,、無損磨和無惰性特點外,,還具有信噪比大,靈敏度高,,零漂小,,頻響寬,非線性小,,精度穩(wěn)定性好,,抗電磁干擾能力強和使用操作方便等優(yōu)點。

  電容式位移傳感器:非接觸式高分辨率近距離位移測量
 
  美國Microsense公司(前身是ADE Technologies, KLA_TENCOR的子公司)開創(chuàng)了高辨率電容式位移傳感器的先河,,致力于為客戶提供以藝術級別性能的高精度非接觸式微位移傳感器,。
 
  電容式位移傳感器特性
 
  1.*非接觸式電容式微位移測量—準確的電子感應技術, 無損樣品測量
 
  2.優(yōu)化的近距離測量—測量距離在10微米到5毫米
 
  3.高準確性,高靈敏性測量,,精度可達0.5nm,。
 
  4.可探測任何可傳導性、接地的測量目標—表面是否拋光以及材質對測量準確度無任何影響
 
  5.用途廣泛: 金屬薄片厚度測量,振動測量,工作臺垂直度(Straighness)和平坦度(flatness)測量,精密馬達轉軸偏振測量(Axial, Radial, Spindle runout),精密儀器工作平臺定  位,,設備自動聚焦測量(微影設備,,原子力顯微鏡,光罩探測,,圖像確認,,LCD生產設備…)
 
  4800系列            5800系列6800系列8800系列       6360厚度測量系統(tǒng)
 
  4800系列    以至優(yōu)化的線性和穩(wěn)定性著稱, 一款多功能測量設備
 
  5800系列    以高動態(tài)測量著稱--高分辨率測量,可達100Khz 帶寬測量,,可靠性測量甚至達觸
 
  地物例如氣動轉子和馬達
 
  6800系列    擁有皮米級別噪聲分辨率
 
  8800系列   以擁有*好的線性和穩(wěn)定性系統(tǒng)著稱,,測量帶寬高達20K HZ,納米級分辨率,超低
 
  噪聲上乘的伺服定位反饋系統(tǒng)設計
 
  Mini系列      迷你壓縮型傳感器測量系統(tǒng)
 
  6360系列      非接觸式,,高精度測量硅片,、CD,、DVD、光盤厚度

       圓柱型測量探頭       45°傾角測量探頭      矩型測量探頭          直角型測量探頭
 
  圓柱型測量探頭探頭直徑0.5mm 到5mm 可選
 
  45°傾角測量探頭  可緊貼圓柱形被測物測量
 
  矩型測量探頭  測量馬達及軸向轉動物時可提供*大分辨率
 
  直角型測量探頭用于測量受限空間測量
 
  設備應用
 
定位測量系統(tǒng)應用:遠程位置調節(jié)器的伺服反饋系統(tǒng)應用
 
  間距和位移測量應用 :空間測量及檢測  軸向位移測量
 
  轉動測量系統(tǒng)應用:馬達精度和轉軸轉動測量  轉軸測量計精度校準測量  直線和平面平臺精度測量
 
  厚度測量系統(tǒng)應用:磁性介質厚度測量 光盤厚度測量
 
  自動聚焦和歸零測量應用:半導體硅片測量
 
  振動測量系統(tǒng)應用:樣品臺精度振動測量 轉軸振動精度測量 主動性防震系統(tǒng)反饋測量
 
  設備性能及主要參數
 
  1.量程:       ±25µm 到±1000µm滿量程測量
 
  2.分辨率:   優(yōu)于2 nm (r.m.s.) @ 1 kHz
 
  3.帶寬:  1 kHz, 5 kHz, 20 kHz, 100 kHz 可選


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