在材料生產(chǎn)領(lǐng)域中，如需要分析金屬材料/部件粗糙度的時候,，不管是使用原子力顯微鏡還是臺階儀,，都沒有辦法同時兼顧分辨率、掃描區(qū)域以及掃描速度,。而基于共聚焦顯微測量技術(shù)的VT6000共聚焦顯微鏡,，配備了真彩相機(jī)并提供還原的3D真彩圖像，對細(xì)節(jié)的展現(xiàn)纖毫畢現(xiàn),，能夠提供色彩斑斕的真彩圖像便于觀察,。并且可以在保證分辨率的同時滿足測量速度的需求。

VT6000共聚焦顯微鏡

1,、非接觸式掃描,，操作簡便，樣品即放即掃,。

應(yīng)用：墊圈

共聚焦顯微鏡非接觸式掃描測量速度比接觸式測量快數(shù)百倍,。能以更高的精度對亞微米范圍的3D結(jié)構(gòu)進(jìn)行測量，短時間內(nèi)能測量整個面板表面密封件的性能,，以及其與表面組成相關(guān)的各種數(shù)據(jù)點(diǎn),。

2、具備表征微觀形貌的輪廓尺寸及粗糙度測量功能,，粗糙度分析,、幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析,、頻率分析,、功能分析等五大分析功能。

應(yīng)用：金屬板

除粗糙度評價標(biāo)準(zhǔn)外,，共聚焦顯微鏡還可以計(jì)算和評估表面封閉區(qū)域的微體積,，適用于評估這些重要的功能性三維結(jié)構(gòu)。結(jié)合測量中提供的自動測量和批量測量功能,，可實(shí)現(xiàn)對小尺寸精密器件的批量測量并直接獲取分析數(shù)據(jù)的功能,。

應(yīng)用：摩擦學(xué),，腐蝕等表面工程

磨痕的體積測量，粗糙度測量,，表面形貌,，腐蝕以及亞微米表面工程后的表面形貌。

應(yīng)用：半導(dǎo)體/ LCD

各種工藝（顯影,，刻蝕,，金屬化，CVD,，PVD,，CMP等）后表面形貌觀察， 缺陷分析 非接觸型的線寬,，臺階深度等測量,。

3、具備自動拼接功能,，能夠快速實(shí)現(xiàn)大區(qū)域的拼接縫合測量,。

在樣品表面抽取多個區(qū)域測量，就可以快速實(shí)現(xiàn)大區(qū)域,、高精度的測量,，從而對樣品進(jìn)行評估分析。

VT6000共聚焦顯微鏡具有高對比度,、高分辨率及可重建三維圖像的優(yōu)勢,，查看各種顯微照片更加清晰，在材料生產(chǎn),、科研和檢測領(lǐng)域獲得廣泛應(yīng)用,。