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快速退火爐是用于制造半導體器件的工藝,，包括加熱多個半導體晶片以影響它們的電性能,。熱處理是為不同的效果而設(shè)計的,?？梢约訜峋约せ顡诫s劑,，將薄膜轉(zhuǎn)換成薄膜或晶片襯底界面,，密集沉積薄膜,，改變生長薄膜的狀態(tài),，修復注入的損傷,，將摻雜劑從一個薄膜移動或轉(zhuǎn)移到另一個薄膜，或者從薄膜進入晶片襯底,。
那么快速退火爐有哪些類型呢,？
一、鋁合金快速退火爐,。
主要用于鋁合金,、鋁板的熱處理和均熱退火。
鋁合金快速退火爐由臺車爐體,、循環(huán)系統(tǒng),、導流設(shè)備、加熱元件,、裝料臺車,、爐門升降機構(gòu)和電氣控制系統(tǒng)組成。
二,、井式真空快速退火爐,。
適用于圓線材和鋼帶退火。真空加熱退火,，不滲氮不脫碳,，使工件退火后保持光亮,。真空快速退火爐主要由爐體、爐襯,、真空泵,、循環(huán)風機和電氣控制系統(tǒng)組成。
三,、多管不銹鋼絲光亮快速退火爐,。
它由加熱爐、冷卻器,、放卷機構(gòu)和電控系統(tǒng)組成,。
主要適用于不銹鋼絲、銅線,、鐵絲等的光亮退火,。
四、井式快速退火爐,。
適用于圓線材和不銹鋼線材,，拉伸前退火，氧化少,，無脫碳,，使工件退火后保持整齊。特點：可配置多臺爐,，多工位操作可節(jié)省人力資源,，提高生產(chǎn)效率，節(jié)約能源,，降低生產(chǎn)成本,。
五、臺車式快速退火爐主要用于銅排,、鑄鋼件,、汽車零部件、軋輥,、鋼球,、金屬結(jié)構(gòu)件及焊件的正火及退火熱處理。臺車式快速退火爐主要由爐門升降和密封設(shè)備,、爐車,、爐車傳動機構(gòu)、電加熱設(shè)備和溫度控制系統(tǒng)組成,?？稍谒降孛嫔鲜褂茫瑹o需基礎(chǔ)安裝。
六,、罩式快速退火爐,。
該設(shè)備可廣泛用于有色金屬銅、鋁合金,、黑色金屬,、普碳鋼、硅鋼,、合金鋼及其他卷,、卷、線等的退火,。沒有氮化和脫碳,，使工件退火后能保持整齊。該快速退火爐具有生產(chǎn)效率高,、產(chǎn)品質(zhì)量好,、能耗低、無污染,、自動化操作、安全可靠等優(yōu)點,。罩式爐由加熱罩,、兩個爐座、閥門框架和電氣控制系統(tǒng)組成,。
七,、網(wǎng)帶式不銹鋼快速退火爐。
它由進料臺,、加熱區(qū),、冷卻段、氨分解爐,、電氣控制系統(tǒng)等部分組成,。主要適用于各種不銹鋼、銅,、鐵制品在保護氣氛控制下的連續(xù)光亮退火和固溶處理,。
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