橢偏儀的選購指南

來源：岱美儀器技術(shù)服務(wù)（上海）有限公司 2021年10月23日 09:04

橢偏儀通過測(cè)量光在介質(zhì)表面反射前后偏振態(tài)變化,，獲得材料的光學(xué)常數(shù)和結(jié)構(gòu)信息，具有測(cè)量精度高,、非接觸,、無破壞且不需要真空等優(yōu)點(diǎn)。

橢偏儀的選購指南：

1,、根據(jù)研究或測(cè)試的材料特性來確定光譜范圍，進(jìn)一步選擇適合光源的橢偏儀,。對(duì)于透明材料,，考慮關(guān)心的折射率光譜區(qū)域;對(duì)于短波吸收、長(zhǎng)波透明材料,，如果關(guān)心吸收區(qū)域折射率及膜厚可擴(kuò)展到紅外透明區(qū)域來先確定薄膜厚度,，然后求解折射率,。

2、入射角方式選擇,。橢偏儀多角度測(cè)量可以增加可靠性,，但不是總有必要。多角度Z適用于以下幾種場(chǎng)合：多層膜結(jié)構(gòu),、吸收膜,、各項(xiàng)異性膜、光學(xué)常數(shù)沿厚度梯度分布的膜等,。

3,、考慮測(cè)量準(zhǔn)確性與重度性。橢偏儀重復(fù)性定義為儀器多次測(cè)量的結(jié)果的比較,，比較容易定義與比較,。一般的測(cè)準(zhǔn)確性時(shí)將空氣作為標(biāo)準(zhǔn)樣品(沒有其他理想的標(biāo)準(zhǔn)樣品)。

4,、比較分析軟件,。橢偏儀測(cè)量是一種非直接測(cè)量模式，數(shù)據(jù)需要擬合分析得來,，所以分析軟件的好壞將直接影響到分析結(jié)果,。

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