橢偏儀的選購指南

來源：岱美儀器技術服務（上海）有限公司 2021年10月23日 09:04

橢偏儀通過測量光在介質表面反射前后偏振態(tài)變化,，獲得材料的光學常數(shù)和結構信息,，具有測量精度高,、非接觸,、無破壞且不需要真空等優(yōu)點,。

橢偏儀的選購指南：

1,、根據(jù)研究或測試的材料特性來確定光譜范圍,，進一步選擇適合光源的橢偏儀,。對于透明材料,，考慮關心的折射率光譜區(qū)域;對于短波吸收、長波透明材料,，如果關心吸收區(qū)域折射率及膜厚可擴展到紅外透明區(qū)域來先確定薄膜厚度,，然后求解折射率。

2,、入射角方式選擇,。橢偏儀多角度測量可以增加可靠性，但不是總有必要,。多角度Z適用于以下幾種場合：多層膜結構,、吸收膜、各項異性膜,、光學常數(shù)沿厚度梯度分布的膜等,。

3、考慮測量準確性與重度性,。橢偏儀重復性定義為儀器多次測量的結果的比較,，比較容易定義與比較。一般的測準確性時將空氣作為標準樣品(沒有其他理想的標準樣品),。

4,、比較分析軟件。橢偏儀測量是一種非直接測量模式,，數(shù)據(jù)需要擬合分析得來,，所以分析軟件的好壞將直接影響到分析結果,。

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