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橢偏儀的原理和特點(diǎn)介紹

來(lái)源:岱美儀器技術(shù)服務(wù)(上海)有限公司   2021年10月19日 08:58  
  橢偏儀/橢圓偏振儀是一種用于探測(cè)薄膜厚度,、光學(xué)常數(shù)以及材料微結(jié)構(gòu)的光學(xué)測(cè)量?jī)x器。現(xiàn)在已被廣泛應(yīng)用于材料,、物理、化學(xué),、生物,、醫(yī)藥等領(lǐng)域的研究、開(kāi)發(fā)和制造過(guò)程中,。
 
  基本原理:
  橢偏儀的原理主要依賴(lài)于光的偏振現(xiàn)象,。當(dāng)光線(xiàn)通過(guò)某些物質(zhì)時(shí),其偏振狀態(tài)會(huì)發(fā)生變化,。橢偏儀利用這一特性,,通過(guò)精確控制入射光的偏振態(tài),并測(cè)量經(jīng)過(guò)樣品后光的偏振態(tài)變化,,進(jìn)而分析樣品的性質(zhì),。
 

 

  橢偏法測(cè)量具有如下特點(diǎn):
  1.能測(cè)量很薄的膜(1nm),且精度很高,,比干涉法高1-2個(gè)數(shù)量級(jí),。
  2.是一種無(wú)損測(cè)量,不必特別制備樣品,,也不損壞樣品,,比其它精密方法:如稱(chēng)重法、定量化學(xué)分析法簡(jiǎn)便,。
  3.可同時(shí)測(cè)量膜的厚度,、折射率以及吸收系數(shù)。因此可以作為分析工具使用,。
  4.對(duì)一些表面結(jié)構(gòu)、表面過(guò)程和表面反應(yīng)相當(dāng)敏感,。是研究表面物理的一種方法,。

 

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