FilmSense 橢偏儀不得不說的優(yōu)點,！

來源：岱美儀器技術(shù)服務(wù)（上海）有限公司 2020年10月26日 09:03

　　FilmSense FS-1多波長橢偏儀使用長壽命LED光源設(shè)計,，使用壽命大于5000小時,，同時FS-1的設(shè)計結(jié)構(gòu)沒有轉(zhuǎn)動部件以確保設(shè)備的穩(wěn)定性,。總的來講,，F(xiàn)S-1是一臺簡單易用的緊湊型設(shè)計的橢偏儀但它能提供快速,、可靠的薄膜測量,。

　　FilmSense 橢偏儀的優(yōu)點：

　　1,、沒有復(fù)雜的軟件設(shè)置和維護(hù),。

　　2、測量精度只有用本儀器才能達(dá)到,。

　　3,、快速多次測量（多波長數(shù)據(jù)在10毫秒）且長期可靠性。

　　4,、長壽命（>50000小時）,，不用頻繁更換昂貴的燈泡，或定時校正或周期維護(hù),。

　　5,、器對薄膜Δ參數(shù)相位差極其敏感，能夠準(zhǔn)確的測量薄膜厚度低至0?,。

　　6,、橢偏儀是測量比率，所以它對光束強(qiáng)度的變化,，或樣品的缺陷引起散射光不敏感的,。

　　7、儀器在每個波長測量2個量(Ψ and Δ),，可以確定2個定量比如薄膜厚度,，以及光學(xué)常數(shù)或基底的折射系數(shù)和消光系數(shù)。

　　FilmSense 橢偏儀的應(yīng)用：

　　1,、FS -1可用于實驗室研究,，教學(xué)，在線制程監(jiān)控,，工業(yè)品質(zhì)控制等應(yīng)用,。

　　2、半導(dǎo)體行業(yè)：硅的氧化物和氮化物,，高和低k介質(zhì),、多晶和非晶硅薄膜，光刻膠,。

　　3,、光學(xué)涂覆工業(yè)：高、低折射率薄膜如SiO2,，TiO2,，Ta2O5，MgF2,，等,。

　　4、顯示行業(yè)：導(dǎo)電層（如ITO）,，非晶硅薄膜,、有機(jī)薄膜（OLED技術(shù)）,。

　　5、數(shù)據(jù)存儲產(chǎn)業(yè)：類金剛石薄膜,。

　　6,、R&D 工序：薄膜沉積的原位表征（速率和光學(xué)常數(shù)）對應(yīng)工藝條件的變化值，適用于MBE,、MOCVD、ALD,、濺射等,。

　　7、化學(xué)和生物：亞-單層材料吸附液體中的細(xì)胞實驗檢測,。

　　8,、工業(yè)：在線監(jiān)測和控制薄膜的厚度。

相關(guān)產(chǎn)品

免責(zé)聲明

凡本網(wǎng)注明“來源：化工儀器網(wǎng)”的所有作品,，均為浙江興旺寶明通網(wǎng)絡(luò)有限公司-化工儀器網(wǎng)合法擁有版權(quán)或有權(quán)使用的作品,，未經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)不得轉(zhuǎn)載、摘編或利用其它方式使用上述作品,。已經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)使用作品的,，應(yīng)在授權(quán)范圍內(nèi)使用，并注明“來源：化工儀器網(wǎng)”,。違反上述聲明者,，本網(wǎng)將追究其相關(guān)法律責(zé)任。
本網(wǎng)轉(zhuǎn)載并注明自其他來源（非化工儀器網(wǎng)）的作品,，目的在于傳遞更多信息,，并不代表本網(wǎng)贊同其觀點和對其真實性負(fù)責(zé)，不承擔(dān)此類作品侵權(quán)行為的直接責(zé)任及連帶責(zé)任,。其他媒體,、網(wǎng)站或個人從本網(wǎng)轉(zhuǎn)載時，必須保留本網(wǎng)注明的作品第一來源,，并自負(fù)版權(quán)等法律責(zé)任,。
如涉及作品內(nèi)容、版權(quán)等問題,，請在作品發(fā)表之日起一周內(nèi)與本網(wǎng)聯(lián)系,，否則視為放棄相關(guān)權(quán)利。

FilmSense 橢偏儀不得不說的優(yōu)點,！

免責(zé)聲明

聯(lián)系我們

關(guān)注我們