全自動磁控離子濺射儀是一款注重安全與用戶體驗(yàn)的多功能濺射儀,，具有多重安全防護(hù)措施及自動切斷功能,，確保操作安全。配備5英寸液晶顯示屏,，簡化操作流程,，支持自動調(diào)節(jié)真空度與樣品臺高度調(diào)節(jié)，提供直觀的濺射電流和真空度曲線顯示,，記錄靶材使用時間及設(shè)備運(yùn)行狀態(tài),。內(nèi)置操作向?qū)В阌谛率挚焖偕鲜?，適用于各類樣品,，特別是溫度敏感材料，能實(shí)現(xiàn)高質(zhì)量鍍膜,，滿足高分辨率觀測需求,。

全自動磁控離子濺射儀特點(diǎn)

一、安全至上
高壓線多重防護(hù),；

外殼良好接地,；

真空互鎖;

系統(tǒng)自動防護(hù)性切斷濺射；

實(shí)體按鍵,，很安全,。

二、注重用戶體驗(yàn)
5英寸液晶屏,，簡潔明了;
可多設(shè)置兩個參數(shù),，即可開始工作；
系統(tǒng)自動調(diào)整真空度,，無需人工調(diào)節(jié)針閥;
自動放氣,；樣品臺高度可調(diào)節(jié)。

三,、信息量大
濺射過程中真空度和濺射電流以曲線方式實(shí)時顯示,，簡單直觀,；
靶材使用時間，儀器使用時間系統(tǒng)自動記錄,，直觀了解設(shè)備的運(yùn)行狀態(tài),；

四、快速上手
設(shè)備內(nèi)置操作向?qū)?，在操作人員更換時，無需培訓(xùn),，即可快速熟練操作設(shè)備,；

五、應(yīng)用領(lǐng)域廣
濺射電流與壓力無關(guān),、基本沒有熱損傷,，因此適用于所有樣品，尤其是溫度敏感性樣品如生物,、聚合物等樣品,；工作時真空度好，鍍膜的顆粒度更小,，更適用場發(fā)射等高分辨觀測電極制備,。