聯(lián)系電話
高斯摩(成都)國(guó)際貿(mào)易有限公司
中級(jí)會(huì)員·1年
MC-7100CLINTEC琳得科 質(zhì)量流量控制器
| 參考價(jià): | ￥ 25150 |
| 訂貨量: | 1件 |
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)- MC-7100C 產(chǎn)品型號(hào)
- LINTEC/琳得科 品牌
- 經(jīng)銷(xiāo)商 廠商性質(zhì)
- 成都市 所在地
訪問(wèn)次數(shù)：39更新時(shí)間：2025-03-28 10:52:12
聯(lián)系我們時(shí)請(qǐng)說(shuō)明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息,，謝謝!
中級(jí)會(huì)員·1年
- 聯(lián)系人：
- 張斌
- 電話：
- 86-028-87319898
- 手機(jī)：
- 15528325588
- 傳真：
- 86-028-85068959
- 地址：
- 四川省成都市高新區(qū)天府大道中段500-1號(hào)天祥廣場(chǎng)C座4527室
- 個(gè)性化：
- www.cosimoinc.com.cn
掃一掃訪問(wèn)手機(jī)商鋪
產(chǎn)品簡(jiǎn)介
| 產(chǎn)地類(lèi)別 | 進(jìn)口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
|---|
質(zhì)量流量控制器是一種被使用在半導(dǎo)體,液晶面板以及其他電子設(shè)備制造工程當(dāng)中,控制氣體或液體質(zhì)量流量的高精密儀器,。
產(chǎn)品介紹
LINTEC琳得科 質(zhì)量流量控制器 MC-7100C
LINTEC琳得科 質(zhì)量流量控制器 MC-7100C
質(zhì)量流量控制器（Mass Flow Controller，MFC）是一種用于精確測(cè)量和控制氣體或液體質(zhì)量流量的關(guān)鍵工業(yè)設(shè)備,。作為現(xiàn)代工業(yè)自動(dòng)化過(guò)程控制的核心組件,，MFC通過(guò)將質(zhì)量流量傳感器、控制閥和比例積分微分（PID）控制電路集成于一體,，實(shí)現(xiàn)對(duì)流體流量的高精度閉環(huán)控制,，典型控制精度可達(dá)±0.5%～±1.0%滿量程（FS）。
質(zhì)量流量控制器主要由質(zhì)流傳感器,、分流器,、制閥以及控制回路所構(gòu)成。當(dāng)氣體流入后,，部分的氣體從分流器導(dǎo)入質(zhì)流傳感器,，由質(zhì)流傳感器所輸出的流量信號(hào)比對(duì)設(shè)定的流量信號(hào)，反饋調(diào)節(jié)控制閥的開(kāi)度,，以此進(jìn)行流量的控制,。
型應(yīng)用場(chǎng)景
1. 半導(dǎo)體制造：
晶圓刻蝕工藝（Cl?、CF?等特種氣體控制）
CVD沉積（SiH?/N?O流量比控制±1%）
離子注入（BF?/PH?精確配氣）
2. 新能源領(lǐng)域：
燃料電池氫氣供應(yīng)（動(dòng)態(tài)響應(yīng)<50ms）
鋰電材料燒結(jié)（N?/O?混合控制）
光伏硅烷沉積（流量波動(dòng)<±0.3%）
3. 制藥行業(yè)：
生物反應(yīng)器氣體供應(yīng)（O?/CO?/N?三聯(lián)控）
凍干機(jī)惰性氣體保護(hù)（露點(diǎn)控制<-70℃）
無(wú)菌灌裝環(huán)境控制（ISO 5級(jí)潔凈度）
4. 科研實(shí)驗(yàn)：
催化反應(yīng)研究（多路氣體并行控制）
質(zhì)譜儀載氣調(diào)節(jié)（0.1-10mL/min微流量）
環(huán)境模擬實(shí)驗(yàn)（溫濕度聯(lián)動(dòng)控制）
| 溫度 | 壓力規(guī)格 | 精度 | 最小F.S. | 最大F.S. | 密封件 |
| 5~50℃ | 400kPa(D)以下 | ±1%S.P. | 5SCCM | 250SLM | Au |
關(guān)鍵性能指標(biāo)
參數(shù)標(biāo)準(zhǔn)型號(hào)高性能型號(hào)
量程范圍0.5-5000 SCCM0.1-10000 SLM
控制精度±1.0% FS±0.5% RD
重復(fù)性±0.2% FS±0.1% FS
響應(yīng)時(shí)間<1s<300ms
工作壓力0.1-0.5MPa真空-10MPa
溫度系數(shù)±0.05%/℃±0.01%/℃
相關(guān)產(chǎn)品
