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MM-3482LLINTEC琳得科 質(zhì)量流量控制器
參考價: 25370
訂貨量: 1
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • MM-3482L 產(chǎn)品型號
  • LINTEC/琳得科 品牌
  • 經(jīng)銷商 廠商性質(zhì)
  • 成都市 所在地

訪問次數(shù):41更新時間:2025-03-26 17:21:25

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產(chǎn)品簡介
產(chǎn)地類別 進口 應(yīng)用領(lǐng)域 綜合
LINTEC琳得科 質(zhì)量流量控制器 MM-3482L
質(zhì)量流量控制器是一種被使用在半導(dǎo)體,液晶面板以及其他電子設(shè)備制造工程當中,控制氣體或液體質(zhì)量流量的高精密儀器。
產(chǎn)品介紹

LINTEC琳得科 質(zhì)量流量控制器 MM-3482L


LINTEC琳得科 質(zhì)量流量控制器 MM-3482L

質(zhì)量流量控制器(Mass Flow Controller,MFC)是一種用于精確測量和控制氣體或液體質(zhì)量流量的關(guān)鍵工業(yè)設(shè)備,。

質(zhì)量流量控制器主要由質(zhì)流傳感器、分流器,、制閥以及控制回路所構(gòu)成,。當氣體流入后,部分的氣體從分流器導(dǎo)入質(zhì)流傳感器,,由質(zhì)流傳感器所輸出的流量信號比對設(shè)定的流量信號,,反饋調(diào)節(jié)控制閥的開度,以此進行流量的控制,。

核心技術(shù)架構(gòu)

傳感系統(tǒng):

熱式傳感:基于King's Law原理,,采用毛細管式或旁路式設(shè)計,溫度分辨率達0.01℃

壓差式傳感:基于層流元件和壓差傳感器組合,,適用于大流量范圍(0.1-5000SLM)

科里奧利式:直接質(zhì)量測量,,精度可達±0.1%讀數(shù)

閥體系統(tǒng):

壓電瓷閥(響應(yīng)時間<10ms)

電磁比例閥(壽命>10?次循環(huán))

溫度最下壓差最大壓差精度控制范圍最小F.S.最小F.S.密封件
5~50℃50kPa300kPa±1%S.P.2~100%F.S.5SCCM400SLMAu

典型應(yīng)用場景

1. 半導(dǎo)體制造:

晶圓刻蝕工藝(Cl?、CF?等特種氣體控制)

CVD沉積(SiH?/N?O流量比控制±1%)

離子注入(BF?/PH?精確配氣)

2. 新能源領(lǐng)域:

燃料電池氫氣供應(yīng)(動態(tài)響應(yīng)<50ms)

光伏硅烷沉積(流量波動<±0.3%)

3. 制藥行業(yè):

生物反應(yīng)器氣體供應(yīng)(O?/CO?/N?三聯(lián)控)



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