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MC-3452LLINTEC琳得科 質(zhì)量流量控制器
| 參考價(jià): | ￥ 25180 |
| 訂貨量: | 1件 |
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)- MC-3452L 產(chǎn)品型號(hào)
- LINTEC/琳得科 品牌
- 經(jīng)銷(xiāo)商 廠(chǎng)商性質(zhì)
- 成都市 所在地
訪(fǎng)問(wèn)次數(shù)：31更新時(shí)間：2025-03-26 15:24:50
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產(chǎn)品簡(jiǎn)介
| 產(chǎn)地類(lèi)別 | 進(jìn)口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
|---|
質(zhì)量流量控制器是一種被使用在半導(dǎo)體,液晶面板以及其他電子設(shè)備制造工程當(dāng)中,控制氣體或液體質(zhì)量流量的高精密儀器,。
產(chǎn)品介紹
LINTEC琳得科 質(zhì)量流量控制器 MC-3452L
LINTEC琳得科 質(zhì)量流量控制器 MC-3452L
質(zhì)量流量控制器（Mass Flow Controller,，MFC）是一種用于精確測(cè)量和控制氣體或液體質(zhì)量流量的關(guān)鍵工業(yè)設(shè)備。作為現(xiàn)代工業(yè)自動(dòng)化過(guò)程控制的核心組件,，MFC通過(guò)將質(zhì)量流量傳感器,、控制閥和比例積分微分（PID）控制電路集成于一體，實(shí)現(xiàn)對(duì)流體流量的高精度閉環(huán)控制,，典型控制精度可達(dá)±0.5%～±1.0%滿(mǎn)量程（FS）,。
質(zhì)量流量控制器主要由質(zhì)流傳感器、分流器,、制閥以及控制回路所構(gòu)成,。當(dāng)氣體流入后，部分的氣體從分流器導(dǎo)入質(zhì)流傳感器,，由質(zhì)流傳感器所輸出的流量信號(hào)比對(duì)設(shè)定的流量信號(hào),，反饋調(diào)節(jié)控制閥的開(kāi)度，以此進(jìn)行流量的控制,。
型應(yīng)用場(chǎng)景
1. 半導(dǎo)體制造：
晶圓刻蝕工藝（Cl?,、CF?等特種氣體控制）
CVD沉積（SiH?/N?O流量比控制±1%）
2. 新能源領(lǐng)域：
燃料電池氫氣供應(yīng)（動(dòng)態(tài)響應(yīng)<50ms）
鋰電材料燒結(jié)（N?/O?混合控制））
3. 制藥行業(yè)：
生物反應(yīng)器氣體供應(yīng)（O?/CO?/N?三聯(lián)控）
凍干機(jī)惰性氣體保護(hù)（露點(diǎn)控制<-70℃）
無(wú)菌灌裝環(huán)境控制（ISO 5級(jí)潔凈度）
4. 科研實(shí)驗(yàn)：
催化反應(yīng)研究（多路氣體并行控制）
| 溫度 | 壓力規(guī)格 | 精度 | 最小F.S. | 最大F.S. | 密封件 |
| 5~50℃ | 400kPa(D)以下 | ±1%S.P. | 5SCCM | 250SLM | Au |
技術(shù)驗(yàn)證數(shù)據(jù)
案例1：半導(dǎo)體刻蝕工藝
控制氣體：Cl?/HBr混合氣
流量范圍：50-200sccm
穩(wěn)定性測(cè)試：8小時(shí)波動(dòng)<±0.3%
案例2：燃料電池測(cè)試
氫氣流量：0-5000sccm
階躍響應(yīng)：10%-90%流量變化耗時(shí)200ms
耐久測(cè)試：連續(xù)工作5000小時(shí)零漂移
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