聯(lián)系電話
高斯摩(成都)國際貿易有限公司
中級會員·1年
具體成交價以合同協(xié)議為準
中級會員·1年
- 聯(lián)系人：
- 張斌
- 電話：
- 86-028-87319898
- 手機：
- 15528325588
- 傳真：
- 86-028-85068959
- 地址：
- 四川省成都市高新區(qū)天府大道中段500-1號天祥廣場C座4527室
- 個性化：
- www.cosimoinc.com.cn
掃一掃訪問手機商鋪
產品簡介
| 產地類別 | 進口 | 應用領域 | 綜合 |
|---|
質量流量控制器是一種被使用在半導體,液晶面板以及其他電子設備制造工程當中,控制氣體或液體質量流量的高精密儀器,。
產品介紹
LINTEC琳得科 質量流量控制器 MC-3252L
LINTEC琳得科 質量流量控制器 MC-3252L
質量流量控制器（Mass Flow Controller,，MFC）是一種用于精確測量和控制氣體或液體質量流量的關鍵工業(yè)設備,。作為現(xiàn)代工業(yè)自動化過程控制的核心組件，MFC通過將質量流量傳感器,、控制閥和比例積分微分（PID）控制電路集成于一體,，實現(xiàn)對流體流量的高精度閉環(huán)控制,，典型控制精度可達±0.5%～±1.0%滿量程（FS）,。
質量流量控制器主要由質流傳感器、分流器,、制閥以及控制回路所構成,。當氣體流入后,，部分的氣體從分流器導入質流傳感器,，由質流傳感器所輸出的流量信號比對設定的流量信號,，反饋調節(jié)控制閥的開度,，以此進行流量的控制,。
型應用場景
1. 半導體制造：
晶圓刻蝕工藝（Cl?、CF?等特種氣體控制）
CVD沉積（SiH?/N?O流量比控制±1%）
2. 新能源領域：
燃料電池氫氣供應（動態(tài)響應<50ms）
鋰電材料燒結（N?/O?混合控制））
3. 制藥行業(yè)：
生物反應器氣體供應（O?/CO?/N?三聯(lián)控）
凍干機惰性氣體保護（露點控制<-70℃）
無菌灌裝環(huán)境控制（ISO 5級潔凈度）
4. 科研實驗：
催化反應研究（多路氣體并行控制）
| 溫度 | 壓力規(guī)格 | 精度 | 最小F.S. | 最大F.S. | 密封件 |
| 5~50℃ | 400kPa(D)以下 | ±1%S.P. | 5SCCM | 250SLM | Au |
關鍵性能指標
參數標準型號高性能型號
量程范圍0.5-5000 SCCM0.1-10000 SLM
控制精度±1.0% FS±0.5% RD
重復性±0.2% FS±0.1% FS
響應時間<1s<300ms
相關產品
-
￥25150 -
￥25390 -
￥25380
-
￥25370
