KOFLOC 科賦樂 標準質(zhì)量流量計  3760系列

KOFLOC 科賦樂 標準質(zhì)量流量計  3760系列

MODEL 3760系列是基于MODEL 3660系列開發(fā)的緊湊型低成本質(zhì)量流量計,。
它是作為大學和研究機構(gòu)研發(fā)應用的各種分析儀器和真空設(shè)備的標準模型而開發(fā)的。

• 配備流量傳感器,，采用改進的恒流溫差檢測方法,，實現(xiàn)高速響應

• 我們不選擇緊湊的身體設(shè)置的地方

• 標準規(guī)格

• 模型	3760	3765
  流量范圍 （N2轉(zhuǎn)換20°C / 1 ATM）	10SCCM~20SLM（可選）	30SLM~100SLM（可選）
  傳感器方式	熱繞組傳感器
  響應速度	在2秒內(nèi)	在3秒內(nèi)
  準確性	±1.0％FS（25°C）	±1.5％FS（25°C）
  溫度系數(shù)	±0.1％FS /°C（15~35°C）	±0.2％FS /°C（15~35°C）
  再現(xiàn)性	±0.5％F.S.（20°C）
  耐壓	980kPa（G）
  He泄漏率（* 1）	1 x 10-8 Pa.m3/s以下
  允許周圍溫度	5~45℃
  允許環(huán)境濕度	10~90%RH（無結(jié)露）
  氣體接觸材料	車身SUS316L
  	密封材料FKM（選件CR或NBR）
  電氣連接	Dsub 9針KFC標準（符合SEMI標準）
  流量輸出信號	0~5 VDC（外部負載電阻250kΩ以上）
  所需電源	+15 VDC（±5％）100 mA, -15 VDC（±5％）100 mA
  接頭 （體型）	標準1 / 4F 900（9 / 16.18 UNF） 選項1/8 F900,1 / 4 UJR，Rc1 / 4等	標準3 / 8F 900（9 / 16.18 UNF） 選項1 / 2F 900,3 / 8 UJR,，Rc 3/8等
  重量	約800g	約1000g