目錄:深圳市江麥智能科技有限公司>>探針臺/冷熱臺測試儀系列>> HL22冷熱探針臺測試儀
特點(diǎn)：
★ 升溫速度可精確控制,，精度達(dá)±0.25℃
★ 體積小巧,，占地空間小
★ 探針種類豐富,，可根據(jù)用戶需求進(jìn)行定制
★ 模塊化設(shè)計(jì)，可根據(jù)客戶要求定制
用途：
冷熱探針臺測試儀，用于芯片,、氣敏元器件等在不同氣氛環(huán)境下電學(xué)性能,，也可用于材料分析。廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體電學(xué)性能測試,、物理研究,、氣敏分析、鋰電池測試,、LED,、LCD、太陽能電池等行業(yè)的制造和研究領(lǐng)等系統(tǒng)中的重要部件,。
冷熱探針臺測試儀產(chǎn)品規(guī)格參數(shù)：
項(xiàng)目 | 訂貨代碼 | HL22-4 | HL22-6 |
主體 | HL22-4 | 腔體材質(zhì)： AL6061(可定制SUS304腔體) | |
HL22-6 | |||
探針組件 （單組價格） | Q2 | 氣密型同軸接口探針夾具（普通型） | |
Q3 | 氣密型三軸接口探針夾具（抗干擾性強(qiáng),，應(yīng)用于半導(dǎo)體） | ||
V2 | 真空型同軸接口探針夾具（普通型，需要抽真空時選擇） | ||
V3 | 真空型三軸接口探針夾具（抗干擾性強(qiáng),，應(yīng)用于半導(dǎo)體,，需要抽真空時選擇） | ||
探針規(guī)格 | 000T | 鍍金，50μm(可選：1μm,、5μm,、10μm、20μm,、50μm,、100μm、200μm) 例：010T代表10μm尺寸的探針,。 | |
信號線纜 | R1 | 單頭甩空線 | |
R2 | 雙頭線 | ||
水冷機(jī) | W | 溫度高于200℃范圍需要配置水冷機(jī) | |
高低溫控制系統(tǒng) | H | 高溫控制器:常溫～450℃,，控制精度±0.25℃，分辨率0.1℃（進(jìn)口溫控） | |
L | 低溫控制器:-194℃～RT℃,，控制精度±0.25℃ | ||
真空系統(tǒng) | MP | 機(jī)械泵（飛躍）:2.2L/S(真空度1*10-1Pa)（不包含真空計(jì)） | |
TP | 分子泵組（Leybold）:90L/S(真空度5*10-5Pa) 復(fù)合真空計(jì)（Leybold ):PTR90(大氣至5*10-7Pa)主體需要采用 不銹鋼材質(zhì),，才能抽到高真空 | ||
顯微鏡 | PM | 體式顯微鏡:ZOOM645S（環(huán)形光源） | |
CM | CCD：200萬像素 | ||
DP | 戴爾顯示器：21寸 | ||
SJ | 視頻顯微鏡+10寸顯示屏（100萬像素） | ||
附件 | D20 | 液氮杜瓦罐:20L（溫度控制在-196℃～室溫可控） | |
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