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靈活的自動(dòng)掃描系統(tǒng)
低成本桌面式壽命測量系統(tǒng),,用于手動(dòng)操作表征不同制備階段的各種不同硅樣品??蛇x的手動(dòng)操作Z軸用于厚度多達(dá)156毫米的樣品,。標(biāo)準(zhǔn)軟件可輸出可視化的測量結(jié)果,。
MDPspot包括附加電阻率測量選項(xiàng)。只測量硅的電阻,,對于沒有高度調(diào)節(jié)可能性的晶片,或者對于磚,。這兩個(gè)選項(xiàng)中的一個(gè)是預(yù)先定義的,。
優(yōu)勢
用于單點(diǎn)測量少子壽命的臺(tái)式裝置,可測量多晶或單晶硅在不同制備階段,,從成長到后面器件,。
體積小,成本低,,使用方便,。附帶一個(gè)基本軟件,用于在小型電腦或筆記本上輸出可視化的測量結(jié)果,。
適用于晶片上的磚,,易于進(jìn)行高度調(diào)整。
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