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靈活的自動(dòng)掃描系統(tǒng)
低成本桌面式壽命測(cè)量系統(tǒng),，用于手動(dòng)操作表征不同制備階段的各種不同硅樣品?？蛇x的手動(dòng)操作Z軸用于厚度多達(dá)156毫米的樣品,。標(biāo)準(zhǔn)軟件可輸出可視化的測(cè)量結(jié)果。
MDPspot包括附加電阻率測(cè)量選項(xiàng),。只測(cè)量硅的電阻,，對(duì)于沒有高度調(diào)節(jié)可能性的晶片,，或者對(duì)于磚。這兩個(gè)選項(xiàng)中的一個(gè)是預(yù)先定義的。
優(yōu)勢(shì)
用于單點(diǎn)測(cè)量少子壽命的臺(tái)式裝置,，可測(cè)量多晶或單晶硅在不同制備階段，從成長(zhǎng)到后面器件,。
體積小,，成本低，使用方便,。附帶一個(gè)基本軟件,，用于在小型電腦或筆記本上輸出可視化的測(cè)量結(jié)果。
適用于晶片上的磚,，易于進(jìn)行高度調(diào)整,。
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