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靈活的自動掃描系統(tǒng)

MDPmap設(shè)計(jì)用于離線生產(chǎn)控制或研發(fā),、測量少子壽命、光電導(dǎo)率,、電阻率和缺陷信息等參數(shù)的小型臺式無觸點(diǎn)電特性測量儀器,，在穩(wěn)態(tài)或短脈沖激勵下(μ-PCD)下工作。自動的樣品識別和參數(shù)設(shè)置允許在從原始生長晶片到高達(dá)95%金屬化晶片的各種工藝階段之后,，容易地應(yīng)用于包括外延層的各種不同樣品,。

MDPmap的主要優(yōu)點(diǎn)是靈活性高。例如,，它允許集成多達(dá)四個激光器,，用于從超低注入到高注入的與注入水平相關(guān)的壽命測量，或者通過使用不同的激光波長提取深度信息,。包括偏光設(shè)施,，以及μ-PCD或穩(wěn)態(tài)注入條件的選擇?？梢允褂貌煌臏y量圖形進(jìn)行客戶定義的計(jì)算,，以及導(dǎo)出用于進(jìn)一步評估的主要數(shù)據(jù)。對于標(biāo)準(zhǔn)測量,，預(yù)定義的標(biāo)準(zhǔn)僅通過按一個按鈕即可實(shí)現(xiàn)常規(guī)測量,。

優(yōu)勢

• 在幾乎任何生產(chǎn)階段，電活性缺陷或材料性能的可視化實(shí)現(xiàn)了工藝優(yōu)化和設(shè)備的性能預(yù)測,。
  

• 其通用的測量方法可實(shí)現(xiàn)特殊測量以及國際標(biāo)準(zhǔn)的可追溯性,。
  

• 小型緊湊的臺式工具，具有很高的測量靈敏度,，便于快速常規(guī)測量,。