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在線壽命和電阻率掃描儀
MDPlinescan被設(shè)計(jì)成一個易于集成的OEM單元,用于集成到各種自動化檢測上,。關(guān)鍵測量是少子壽命掃描,。樣品通常由測量探頭下面的傳送帶或機(jī)器人系統(tǒng)傳送。應(yīng)用實(shí)例范圍從磚塊到晶片檢查,,測量速度小于每晶片一秒,。電池生產(chǎn)線的進(jìn)料質(zhì)量調(diào)查是常見的應(yīng)用案例,以及在鈍化和擴(kuò)散之后的工藝質(zhì)量檢查,,在許多其他的專業(yè)應(yīng)用領(lǐng)域也有很大的可能性,。只需要集成以太網(wǎng)連接和電源就可以了。包括附加電阻率測量選項(xiàng),。
優(yōu)勢
在µ-PCD或穩(wěn)態(tài)激發(fā)條件下測量少子壽命和電阻率線掃描是該儀器設(shè)計(jì)的重點(diǎn),。
集成OEM單元的生產(chǎn),用于多晶或單晶硅晶片在不同工藝階段直至器件,、磚塊或錠子的生產(chǎn)線的整合,。
小尺寸和標(biāo)準(zhǔn)自動化接口易于集成,。重點(diǎn)在于測量結(jié)果的長期可靠性和精密度。
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