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自動(dòng)掃描薄膜測(cè)量儀器
整體表面分析
SenSol自動(dòng)掃描系統(tǒng)是為薄膜測(cè)量設(shè)計(jì)的,，在面板上的每個(gè)位置，特別是在邊緣都可以進(jìn)行測(cè)量,。
TCO自動(dòng)掃描
TCO可以研究厚度的均勻性,、薄層電阻、光譜分辨的霧度H(λ),、反射R(λ)和透射T(λ),。
工藝優(yōu)化
新的沉積工藝或清洗后的沉積設(shè)備的運(yùn)行時(shí)間顯著減少。
SenSol自動(dòng)掃描儀器設(shè)計(jì)用于玻璃薄膜光伏制造中薄膜性能的質(zhì)量控制的在線測(cè)量,。大量的傳感器可以集成到SenSol傳感器平臺(tái)中,。這也允許特定的工藝監(jiān)測(cè)，提供補(bǔ)償工藝中出現(xiàn)的差異,。
瑞士Oerlikon Solar公司是光伏薄膜測(cè)量設(shè)備的供應(yīng)商,，也是SENTECH的主要參考客戶之一，通過SenSol的工藝監(jiān)測(cè)確保了優(yōu)異的生產(chǎn)效果,。
SENTECH易于使用,，面向配方的SenSol自動(dòng)掃描軟件為制造商主計(jì)算機(jī)提供了靈活和定制的接口，以及客戶特定的薄膜測(cè)量結(jié)果的圖形表示,。
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