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自動掃描薄膜測量儀器
整體表面分析
SenSol自動掃描系統(tǒng)是為薄膜測量設(shè)計的，在面板上的每個位置，特別是在邊緣都可以進行測量,。
TCO自動掃描
TCO可以研究厚度的均勻性,、薄層電阻、光譜分辨的霧度H(λ),、反射R(λ)和透射T(λ),。
工藝優(yōu)化
新的沉積工藝或清洗后的沉積設(shè)備的運行時間顯著減少。
SenSol自動掃描儀器設(shè)計用于玻璃薄膜光伏制造中薄膜性能的質(zhì)量控制的在線測量,。大量的傳感器可以集成到SenSol傳感器平臺中。這也允許特定的工藝監(jiān)測,，提供補償工藝中出現(xiàn)的差異,。
瑞士Oerlikon Solar公司是光伏薄膜測量設(shè)備的供應(yīng)商，也是SENTECH的主要參考客戶之一,，通過SenSol的工藝監(jiān)測確保了優(yōu)異的生產(chǎn)效果,。
SENTECH易于使用，面向配方的SenSol自動掃描軟件為制造商主計算機提供了靈活和定制的接口,，以及客戶特定的薄膜測量結(jié)果的圖形表示,。
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