激光掃描圖形檢測系統(tǒng)

MPDPro設計用于對電特性進行分析,，在四分鐘的測量時間內(nèi)，對1毫米分辨率,，500毫米磚磚(或晶片)自動掃描,。進行非接觸測量。

MDPpro系列具有快速,、靈活,，自動掃描多晶硅磚和晶片的穩(wěn)固設計。同時測量少子壽命,、光電導率,、電阻率和樣品平整度，所有測量圖形同時繪制,。這個儀器的設置非常簡單,，僅需要電源。測量必要性包括了工作站與數(shù)據(jù)庫,。樣品裝載可以手動或由自動系統(tǒng)來完成,。在1mm分辨率下，156x 156 x 400 mm標準磚的測量速度小于4分鐘,。電阻率自動掃描選項具有長時間穩(wěn)定性而無需頻繁重新校準,。用于參考測量的校準庫也是可用的。由于偏析和預期摻雜類型的過補償導致的導電類型轉(zhuǎn)換的空間分辨測量可以以高空間分辨率來研究,。

該儀器被設計用于工藝和材料的質(zhì)量監(jiān)控,，例如單晶或多晶硅。多晶硅磚切割標準的自動輸出,。能夠根據(jù)爐子的輸出質(zhì)量進行單獨的爐子監(jiān)控進行優(yōu)化和決定投資,。MDPpro是多晶硅磚生產(chǎn)商以及爐子技術(shù)生產(chǎn)商的標準儀器。

激光掃描圖形檢測系統(tǒng)

• 脫機或晶圓的整體工具系列,。少子壽命,、光電導率,、電阻率、p/n導電類型變化和幾何樣品平整度的同時自動掃描,。
  

• 對于156x 156 x 400 mm標準磚,，測量速度小于4分鐘，分辨率為1mm,，所有5幅測量圖形同時繪制,。
  

• 堅固耐用的設計和易于設置的性能。對于安裝,，僅需要電源,。帶有數(shù)據(jù)庫的工作站包含在下面的隔間中。