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壓電·二維/三維掃描運(yùn)動(dòng) Sxxx.XYZ.C

? 針對(duì)精密光學(xué),、半導(dǎo)體表征等“3自由度掃描運(yùn)動(dòng)”需求的定制化解決方案

• 三維度XYZ 掃描運(yùn)動(dòng) 100 um × 100 um × 100 um,；200 um × 200 um × 200 um

• 外形尺寸， 55 mm × 55 mm × 40 mm,；

• 閉環(huán)定位精度優(yōu)于 1 nm,；

• 支持無(wú)磁 (.NM) 和超高真空 (.UHV) 選件升級(jí)；

壓電多維度掃描臺(tái),，三維掃描運(yùn)動(dòng),，兼容無(wú)磁高真空——詳細(xì)參數(shù)：

壓電多維度掃描臺(tái)，三維掃描運(yùn)動(dòng),，兼容無(wú)磁高真空——尺寸圖：

多場(chǎng)科技“壓電掃描臺(tái)·緊湊型”解決方案主要包含：

S —— 掃描標(biāo)準(zhǔn)系列,；

SD —— 高動(dòng)態(tài)系列,；

SH —— 高負(fù)載系列。

S, SD & SH 系列覆蓋X軸單維度運(yùn)動(dòng),、Z軸單維度運(yùn)動(dòng),、XY軸雙維度運(yùn)動(dòng)和XYZ軸三維度運(yùn)動(dòng)等應(yīng)用場(chǎng)景，支持電容閉環(huán)傳感,，可選無(wú)磁/高真空/超高真空選件升級(jí),。