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壓電·單維掃描運(yùn)動(dòng) Sxxx.Z.C

? 緊湊型單軸Z軸方向運(yùn)動(dòng),，電容位置閉環(huán)控制

• Z 方向運(yùn)動(dòng)范圍 100-300 um；

• 外形尺寸,，40 mm x 40 mm x 18 mm,；

• 閉環(huán)定位精度優(yōu)于1 nm (開環(huán)版本可選)；

• 最大負(fù)載 500 g,；

• 支持無磁 (.NM) 和高真空 (.UHV) 選件升級(jí),；

壓電升降掃描臺(tái)，Z軸掃描運(yùn)動(dòng)——詳細(xì)參數(shù)：

壓電升降掃描臺(tái),，Z軸掃描運(yùn)動(dòng)——尺寸圖：

多場科技“壓電掃描臺(tái)·緊湊型"解決方案主要包含：

S —— 掃描標(biāo)準(zhǔn)系列,；

SD —— 高動(dòng)態(tài)系列,；

SH —— 高負(fù)載系列,。

S, SD & SH 系列覆蓋X軸單維度運(yùn)動(dòng),、Z軸單維度運(yùn)動(dòng)、XY軸雙維度運(yùn)動(dòng)和XYZ軸三維度運(yùn)動(dòng)等應(yīng)用場景,，支持電容閉環(huán)傳感,，可選無磁/高真空/超高真空選件升級(jí)。