產品型號

PCE-6V 小型等離子清洗機

主要特點

 1,、采用氣體作為清洗介質,，避免了因液體清洗介質對被清洗物帶來的二次污染。

   2 ,、可短時間內清洗掉有機污染物,。

   3  、清洗程度可達到分子級,。

   4 ,、可在特定條件下根據(jù)需要改變某些材料表面的性能。

   5,、清洗過程中的輝光放電可對某些特殊用途的材料加強粘附性,、相容性和浸潤性，并可消 毒和殺菌,。

   6 ,、樣品臺可選配加熱功能，可加負偏壓,，用以實現(xiàn)離子蝕刻,。

   7、廣泛應用于光學,、光電子學,、電子學、材料科學,、生命科學,、高分子科學、生物醫(yī)學,、 微觀流體學等領域,。

技術參數(shù)

1 、電壓： AC220V    10A

 2,、消耗功率： <500W  （包括真空泵）

 3 、RF 電源： 輸出功率 100W ,，輸出頻率 13.56MHz

   4,、腔體： Ø190mm×98mm

   5、石英管： Ø180mm×55mm ,，壁厚 7mm

   6,、內腔： Ø165mm×55mm

   7、清洗電極： Ø120mm

   8、樣品臺： Ø150mm ,，有效尺寸 Ø140mm

   9,、樣品臺與電極間距： 15mm-50mm 可調

   10、抽氣管： Ø12mm

   11,、極限真空度： 0.1Pa

   12,、工作真空度： 60Pa-500Pa

   13、氣路數(shù)量： 2 路（選裝）

   14,、流量控制器數(shù)量： 1 ,、2

   15、流量顯示儀： 2 通道

   16,、氣路接口： Ø6mm

   17,、加熱樣品臺： Ø140mm ，加熱樣品溫度 RT-600℃±1℃（選裝）

   18,、冷卻水壓力： 0.2KPa-0.4KPa

    19,、工作環(huán)境： 溫度 5℃-35℃，濕度<80%  （相對濕度）不結露,， 海拔高度 0-2000m