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產(chǎn)品型號

PCE-6 小型等離子清洗機

主要特點

1,、通過控制面板的按鍵及開關(guān)，可控制調(diào)節(jié)射頻功率,、真空泵的開閉,、清洗時間,。

2 、時間,、功率,、 真空度等信息顯示在一組 4 位數(shù)碼管上。

3 ,、設(shè)有一個三通閥,， 可精確控制進氣流量， 以及大氣流清洗腔體,，進氣接口為 6mm 卡套 接口,。

4、選用大功率射頻電源設(shè)備可進行等離子刻蝕和等離子灰化實驗,。

技術(shù)參數(shù)

1 ,、電源： AC220V    50/60Hz

2、輸出功率： 7.2W ,、10.2W ,、29.6W

3、真空泵功率： <500W

4,、總功率： <600W

5,、射頻頻率： 3.0MHz ，功率 3 檔可手動調(diào)節(jié)

6 ,、等離子腔體： 高純石英腔體,， ?160mm×190mm，采用鋁制折疊式法蘭進行密封,，法蘭 上設(shè)有 ?45mm 的觀察窗

7,、真空泵： 240L/min，直連式雙旋真空泵

8,、極限真空度： 50mtorr

9 ,、通入氣體： 可通入多種氣體來產(chǎn)生等離子， 如 N2 ,、Ar ,、H2 、O2 ,、Air 和混合氣體等（根 據(jù)材料性質(zhì)選定）

清洗及蝕刻

產(chǎn)品規(guī)格

尺寸： 400mm×300mm×300mm,，重量： 10.2kg

可選配件

1 、2"-6"石英舟（盛放基片）

2 ,、2-4 通道質(zhì)子或浮子混氣系統(tǒng)