產(chǎn)品型號

PCE-6V 小型等離子清洗機

主要特點

1,、采用氣體作為清洗介質(zhì),，避免了因液體清洗介質(zhì)對被清洗物帶來的二次污染。

2 ,、可短時間內(nèi)清洗掉有機污染物,。

3 、清洗程度可達到分子級,。

4 ,、可在特定條件下根據(jù)需要改變某些材料表面的性能。

5,、清洗過程中的輝光放電可對某些特殊用途的材料加強粘附性,、相容性和浸潤性，并可消 毒和殺菌,。

6 ,、樣品臺可選配加熱功能，可加負偏壓,，用以實現(xiàn)離子蝕刻,。

7、廣泛應(yīng)用于光學(xué),、光電子學(xué),、電子學(xué)、材料科學(xué),、生命科學(xué),、高分子科學(xué)、生物醫(yī)學(xué),、 微觀流體學(xué)等領(lǐng)域,。

技術(shù)參數(shù)

1 、電壓： AC220V    10A

2,、消耗功率： <500W  （包括真空泵）

3 ,、RF 電源： 輸出功率 100W ，輸出頻率 13.56MHz

4,、腔體： ?190mm×98mm

5,、石英管： ?180mm×55mm ，壁厚 7mm

6,、內(nèi)腔： ?165mm×55mm

7,、清洗電極： ?120mm

8、樣品臺： ?150mm ,，有效尺寸 ?140mm

9,、樣品臺與電極間距： 15mm-50mm 可調(diào)

10、抽氣管： ?12mm

11,、極限真空度： 0.1Pa

12,、工作真空度： 60Pa-500Pa

13、氣路數(shù)量： 2 路（選裝）

14,、流量控制器數(shù)量： 1 ,、2

15、流量顯示儀： 2 通道

16,、氣路接口： ?6mm

17,、加熱樣品臺： ?140mm ，加熱樣品溫度 RT-600℃±1℃（選裝）

18,、冷卻水壓力： 0.2KPa-0.4KPa

19,、工作環(huán)境： 溫度 5℃-35℃，濕度<80%  （相對濕度）不結(jié)露,， 海拔高度 0-2000m

產(chǎn)品規(guī)格

尺寸： 245mm×235mm×460mm  （不含真空泵）,，重量： 20kg  （不含真空泵）

可選配置

1、加熱樣品臺

2,、流量控制器（量程 10 ,、50 、100 ,，最多可增加 2 個通道）