產(chǎn)品型號

PCE-6 小型等離子清洗機

     主要特點

1,、通過控制面板的按鍵及開關(guān),，可控制調(diào)節(jié)射頻功率,、真空泵的開閉、清洗時間,。

2 ,、時間、功率,、 真空度等信息顯示在一組 4 位數(shù)碼管上,。

3 、設(shè)有一個三通閥,， 可精確控制進氣流量,， 以及大氣流清洗腔體，進氣接口為 6mm 卡套 接口,。

4,、選用大功率射頻電源設(shè)備可進行等離子刻蝕和等離子灰化實驗。

技術(shù)參數(shù)

1 ,、電源： AC220V    50/60Hz

2,、輸出功率： 7.2W 、10.2W ,、29.6W

3,、真空泵功率： <500W

4、總功率： <600W

5,、射頻頻率： 3.0MHz ,，功率 3 檔可手動調(diào)節(jié)

6 、等離子腔體： 高純石英腔體,， Ø160mm×190mm,，采用鋁制折疊式法蘭進行密封，法蘭 上設(shè)有 Ø45mm 的觀察窗

7,、真空泵： 240L/min,，直連式雙旋真空泵

8、極限真空度： 50mtorr

9 ,、通入氣體： 可通入多種氣體來產(chǎn)生等離子,， 如 N2 、Ar ,、H2 ,、O2 、Air 和混合氣體等（根 據(jù)材料性質(zhì)選定）

清洗及蝕刻

產(chǎn)品規(guī)格

尺寸： 400mm×300mm×300mm,，重量： 10.2kg

可選配件

1 ,、2"-6"石英舟（盛放基片）

2 、2-4 通道質(zhì)子或浮子混氣系統(tǒng)