MA200 3代提供適應(yīng)眾多生產(chǎn)過程的智能化解決方案,。多樣化的對準(zhǔn)方案、靈活可調(diào)的鏡頭系統(tǒng)和特殊附加選項使本系統(tǒng)成為處理各種不同工藝的全能設(shè)備,。
高度自動化且切實節(jié)省寶貴的處理時間,。這也體現(xiàn)在細(xì)節(jié)方面,例如選擇自動更換濾光片,,以便維持低運(yùn)營成本,。
MA200 3 代在設(shè)計方面著重凸出用戶友好性。如可調(diào)節(jié)高度的顯示器,、符合人體工程學(xué)的I / O接口,、連續(xù)運(yùn)行期間更換晶圓盒和直接觀看曝光模塊等特性大大簡化了設(shè)備操作,即使是在高負(fù)荷工作時,。
憑借其廣泛的附加選項,,第 3 代 MA200 很容易就能達(dá)到特種光刻工藝的要求。