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深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司

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星型全自動(dòng)涂膠顯影機(jī)

參  考  價(jià):面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)KS-S150

品牌芯源

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

所在地深圳市

更新時(shí)間：2024-09-04 17:31:57瀏覽次數(shù)：737次

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KS-S150星型全自動(dòng)涂膠顯影機(jī)用于LED-PSS工藝的涂膠顯影制程及化合物半導(dǎo)體的涂膠顯影等制程?？杉嫒菟{(lán)寶石,、砷化鎵和碳化硅等材質(zhì)的晶圓,，產(chǎn)品涉及多個(gè)應(yīng)用領(lǐng)域，涂膠機(jī)產(chǎn)能大于190片/小時(shí),。設(shè)備通過了CSA認(rèn)證,。

1.產(chǎn)品概述：

 KS-S150星型全自動(dòng)涂膠顯影機(jī)是由沈陽芯源微電子設(shè)備股份有限公司研發(fā)的勻膠顯影設(shè)備，用于LED-PSS工藝的涂膠顯影制程及化合物半導(dǎo)體的涂膠顯影等制程,?？杉嫒菟{(lán)寶石、砷化鎵和碳化硅等材質(zhì)的晶圓,，產(chǎn)品涉及多個(gè)應(yīng)用域,，涂膠機(jī)產(chǎn)能大于190片/小時(shí)。設(shè)備通過了CSA認(rèn)證,。

2.應(yīng)用領(lǐng)域：

傳感器芯片制造

光通信芯片制造

功率芯片制造

LED芯片制造

圖形化襯底制造

化合物半導(dǎo)體域

3.產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)：

1.占地小,、穩(wěn)定性高、操作與維護(hù)方便,；

2.產(chǎn)能高,，涂膠機(jī)產(chǎn)能大于190片/小時(shí),；

3.光刻膠用量小，4寸用量0.6ml,；

4.優(yōu)異的流場(chǎng)設(shè)計(jì),，涂膠均勻性好。

有掩膜光刻機(jī)

1.手動(dòng),、半自動(dòng),、全自動(dòng)有掩膜光刻機(jī)$r$n2.高分辨率掩模對(duì)準(zhǔn)光刻，

無掩膜/激光直寫光刻機(jī)

無掩膜/激光直寫光刻機(jī) 參數(shù)：1. 光源：375 nm,、385 nm,、

電子束光刻系統(tǒng)

電子束光刻系統(tǒng) 技術(shù)參數(shù)：$r$n1.最小線寬≤8nm 光柵周期

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