用戶界面（軟件）

半兼容 GUI

大寫入?yún)^(qū)域

228 x 228 mm2 （可根據(jù)要求提供其他尺寸）

基板尺寸

4 英寸,、5 英寸、6 英寸,、7 英寸和 9 英寸口罩（可根據(jù)要求提供更大的和其他基材）

系統(tǒng)特點(diǎn)

光學(xué)

0.9 NA物鏡
低失真紫外光學(xué)元件
自動(dòng)校準(zhǔn)程序

激光

355nm波長(zhǎng)的高功率二管泵浦固體激光器

對(duì)焦系統(tǒng)

實(shí)時(shí)光學(xué)自動(dòng)對(duì)焦

對(duì)準(zhǔn)

攝像系統(tǒng)
失真補(bǔ)償
全局和逐場(chǎng)對(duì)準(zhǔn)
邊緣檢測(cè)器

數(shù)據(jù)路徑

實(shí)時(shí)壓縮
可擴(kuò)展的硬件概念
輸入格式：所有標(biāo)準(zhǔn)格式,，例如 GDSII 和 Jobdeck

空間光調(diào)制器

頻率 350 kHz
數(shù)據(jù)速率 2.4 GB/s

自動(dòng)化

全自動(dòng)口罩處理，帶兩個(gè)大 9 英寸的輸送站;可選的 SECS/GEM 協(xié)議

系統(tǒng)尺寸

系統(tǒng) / 電子機(jī)架

寬度 [mm]

2995 / 800

深度 [mm]

1652 / 650

高度 [mm]

2102 / 1800

重量 [kg]

3400 / 180

安裝要求

電氣

400 VAC ± 5%,，50/60 Hz,，16A，3 相

壓縮空氣

7 - 10 bar （不含油或其他殘留物）