1. 產(chǎn)品概述
PD-100ST是一種用于研發(fā)的低溫(80 ~ 400°C),、高速(>300 nm/min)等離子體增強(qiáng)CVD系統(tǒng),。Samco的液態(tài)源CVD系統(tǒng)采用自偏置沉積技術(shù)和液態(tài)TEOS源，以低應(yīng)力沉積SiO2薄膜,，從薄膜到厚的薄膜（高達(dá)100 µm）,。PD-100ST具有時尚、緊湊的設(shè)計，只需要小的潔凈室空間,。
2. 設(shè)備用途/原理
塑料材料上保護(hù)膜的沉積,。在3D LSI的通孔側(cè)壁上沉積絕緣膜。光波導(dǎo)的制造（光纖芯/包層）,。制造用于微型機(jī)械生產(chǎn)的面罩,。覆蓋高縱橫比結(jié)構(gòu)，如MEMS器件,。SAW設(shè)備的溫度補(bǔ)償膜和鈍化膜,。
3. 設(shè)備特點
沉積物達(dá)?100 mm（4"）。陰耦合自偏析沉積技術(shù)可以實現(xiàn)低應(yīng)力薄膜的高速（>300 nm/min）沉積,。通過低溫沉積,，可以在塑料表面上沉積薄膜。高縱橫比結(jié)構(gòu)的優(yōu)秀階梯覆蓋率,，使用鍺,、磷、硼液源控制折射率,。PD-100ST設(shè)計時尚,、緊湊，只需要小的潔凈室空間,。
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