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深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司

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8英寸通用物理氣相沉積系統(tǒng)

參  考  價:面議
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號eVictor系列

品牌北方華創(chuàng)

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

所在地北京市

更新時間：2024-09-05 10:18:26瀏覽次數(shù)：439次

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eVictor系列 8英寸通用物理氣相沉積系統(tǒng),，加熱基座設(shè)計，具備良好的溫度均勻性,，高溫厚鋁工藝連續(xù)作業(yè)無累溫,。

1. 產(chǎn)品概述

eVictor系列 8英寸通用物理氣相沉積系統(tǒng)，加熱基座設(shè)計,，具備良好的溫度均勻性,，高溫厚鋁工藝連續(xù)作業(yè)無累溫。

2. 設(shè)備用途/原理

eVictor系列 8英寸通用物理氣相沉積系統(tǒng),，加熱基座設(shè)計，具備良好的溫度均勻性,，高溫厚鋁工藝連續(xù)作業(yè)無累溫，高溫鋁工藝具備高深寬比填充能力,，背金工藝薄片傳輸及工藝,，過程溫度實(shí)時監(jiān)控，優(yōu)異的溫度和應(yīng)力控制能力,，雙腔傳輸平臺,，多可支持 10 個工藝模塊，靶材利用率高,，大產(chǎn)能，低運(yùn)營成本,。

3. 設(shè)備特點(diǎn)

晶圓尺寸 6,、8 英寸，適用材料 鈦,、氮化鈦,、鋁、 鎳,、鎳釩,、銀。適用工藝 鋁線,、正面電工藝,、背面金屬化工藝等。適用域 科研,、化合物半導(dǎo)體,、集成電路。

濺射系統(tǒng)

iTops PVD AlN 濺射系統(tǒng),，采用托盤形式,，可兼容 2/4/6

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