1. 產(chǎn)品概述
MARS iCE120 多片碳化硅外延系統(tǒng),，產(chǎn)能大，6 英寸運(yùn)營成本低,。
2. 設(shè)備用途/原理
MARS iCE120 多片碳化硅外延系統(tǒng),，產(chǎn)能大，6 英寸運(yùn)營成本低,。薄膜和厚膜外延兼容,，工藝穩(wěn)定性高。具備多層外延能力,。氣流場和加熱場設(shè)計(jì),，工藝性能優(yōu)異。可靠的壓力控制系統(tǒng),，成膜質(zhì)量均一性好,。兼容 8 英寸。
3. 設(shè)備特點(diǎn)
晶圓尺寸 6,、8 英寸,，適用材料 碳化硅 SiC，適用工藝 N&P 碳化硅外延,，適用域 科研、化合物半導(dǎo)體,。碳化硅外延晶片?主要用于以下幾個(gè)方面：?射頻器件?：用于?5G基站,、?城際高速鐵路、?新能源汽車充電樁等,。??電力電子器件?：用于電動汽車,，提高續(xù)航能力。?功率電子器件?：如?功率MOSFET,、?Schottky二極管等,。??光電子器件?：用于?光通信、?激光二極管和?光傳感器等,。碳化硅外延晶片在具體領(lǐng)域的應(yīng)用,，?5G基站建設(shè)?：碳化硅晶片作為5G芯片的理想襯底，可以減小設(shè)備體積,，降低能量損耗,，增加設(shè)備在惡劣環(huán)境下的可靠性,。?新能源汽車?：用于電動汽車的電力電子器件，提高續(xù)航能力約10%,。
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