一,、產(chǎn)品概述：
掃描電鏡等離子清洗機(jī)是一款專為掃描電子顯微鏡（SEM）樣品準(zhǔn)備而設(shè)計(jì)的高效清洗設(shè)備。該機(jī)利用等離子體技術(shù),，通過(guò)活性氣體的激發(fā),，去除樣品表面的有機(jī)污染物和微塵，確保樣品在顯微觀察中的清潔和高質(zhì)量成像,。掃描電鏡等離子清洗機(jī)具有快速、均勻的清洗效果,，并能夠處理各種材料,，包括金屬、陶瓷和聚合物等,。其自動(dòng)化控制系統(tǒng)使得操作簡(jiǎn)單便捷,，廣泛應(yīng)用于材料科學(xué),、納米技術(shù)和生物醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域,，為研究人員提供可靠的樣品處理解決方案。
CIF 掃描電鏡（SEM）等離子清洗機(jī)采用遠(yuǎn)程等離子清洗源設(shè)計(jì),，清洗快速,、高效、低轟擊損傷,，主要用于SEM或FIB等電鏡腔體內(nèi)碳?xì)浠衔锏那逑础?/span>
二,、設(shè)備用途/原理：
·設(shè)備用途
掃描電鏡等離子清洗機(jī)主要用于準(zhǔn)備掃描電子顯微鏡（SEM）樣品，去除樣品表面的有機(jī)污染物,、微塵和其他雜質(zhì),。它廣泛應(yīng)用于材料科學(xué),、納米技術(shù)和生物醫(yī)學(xué)等研究領(lǐng)域，以確保樣品在顯微觀察中的清潔和高質(zhì)量成像,。
·工作原理
該設(shè)備通過(guò)等離子體技術(shù)進(jìn)行清洗,。首先,，等離子清洗機(jī)將特定的氣體（如氧氣或氬氣）引入反應(yīng)室,，并通過(guò)高頻電源激發(fā)氣體形成等離子體,。等離子體中的活性粒子與樣品表面的污染物反應(yīng)，分解并去除這些雜質(zhì),。該過(guò)程能夠快速且均勻地清洗各種材料,，確保樣品表面達(dá)到所需的清潔度，從而提高掃描電子顯微鏡的成像質(zhì)量和分析準(zhǔn)確性,。
三,、主要技術(shù)指標(biāo)：
產(chǎn)品型號(hào) | CIF-SEM |
法蘭接口 | KF40（CF40） |
工作氣壓 | 0.3-3Pa |
等離子電源 | 13.56MHz射頻電源，射頻功率5-150W可調(diào),， |
遠(yuǎn)程等離子源,，自動(dòng)匹配器 | |
氣體控制 | 標(biāo)配單路質(zhì)量流量計(jì)（MFC）可選雙路,。50毫升/分,，自動(dòng)控制氣體流量，不會(huì)受環(huán)境溫度和壓力變化影響 |
氣源選擇 | 根據(jù)需求氧氣,、氬氣、氮?dú)?、氫氣等多種清洗氣源選擇 |
真空控制 | 皮拉尼真空計(jì),，測(cè)量范圍1E-5Torr |
真空保證 | 真空計(jì)和電磁閥安全互鎖 |
操控方式 | 7寸全彩觸摸屏控制，中英文互動(dòng)操作界面 |
電源/功率 | 220V,，50/60Hz，300W |
可選配件 | 可選氧氣,、氮?dú)?、氫氣發(fā)生器， 氫氣純度﹥99.999％,，輸出流量0-300ml/min |
質(zhì)量保證 | 二年質(zhì)保，終身維護(hù) |
四,、產(chǎn)品特點(diǎn)
1.遠(yuǎn)程等離子清洗源
2.清洗快速,、高效
3.低轟擊損傷
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